中古 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9409127 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SCCMシンは、多くの産業や施設で使用されているエッチャーおよびアッシャー装置です。このシステムは、薄膜デバイス、薄膜層、およびその他のウェハ関連材料の製造およびエッチングに使用されます。高精度、低消費電力、低廃棄物生産が特徴です。半導体、マイクロマシニング、フォトマスクなど、薄膜を高温でエッチングまたはアッシュする必要のある薄膜成膜プロセスに適しています。エッチング/アッシング処理は、TEL SCCMシンエッチャー/アッシャーユニットに薄膜を配置することから始まります。この機械は、ガス入口、出口、およびチャンバー内のガスと温度を制御するための内部ガス装置を備えた原子炉室で構成されています。その後、薄膜は400〜500°Cの温度で酸素、窒素、その他のガスの混合物にさらされます。次に、ツールの反応チャンバーにエネルギーを供給し、X線ソースを使用して薄膜層を選択的にエッチングします。エッチングおよびアッシング処理は、基材の損傷を最小限に抑え、薄膜を薄くすることで、非常に制御され、正確です。薄膜は厚さ15〜20mmまで可能ですが、東京エレクトロンSCCMシンで薄膜をエッチングすることも可能です。さらに、この資産は、均一な層エッチング、ステップ層エッチング、多層エッチングなど、さまざまなトポロジーをエッチングすることができます。モデルには、手動と自動の2種類のウェーハサポートがあります。手動ウェハサポートにより、エッチャー機器に薄膜を手動で配置することができます。一方、オートウェハサポートにより、制御コンピュータは自動的に薄膜をエッチャーに供給することができます。さらに、過熱保護、過圧保護、カーボンモニタリングなど、さまざまな安全機能を備えています。さらに、このユニットには、自動レシピモード、ユーザーインターフェイス、プロセスログなど、さまざまな操作機能が搭載されています。SCCMシンエッチャー/アッシャーは、高精度、低消費電力、低廃棄物生産を実現し、薄膜の精密エッチングやアッシングに最適な機械です。