中古 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9409053 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shinは、研究所や研究機関に高度なエッチングとアッシング機能を提供する高度なエッチャーまたはアッシャーです。この装置は、半導体デバイス製造のさまざまな用途に使用できる正確で再現性のあるエッチング工程を提供するように設計されています。TEL SCCM Shinは、精度と信頼性のための幅広い機能を備えています。このシステムは、制御可能な暖房プラットフォームを備えており、基板の温度と大気の正確な制御と、基板への容易なアクセスを可能にします。また、直感的なユーザーインターフェイスを備えており、迅速なパラメータ設定とプロセス監視を可能にします。高度なプロセスコントロールユニット（ACS）により、ウェットエッチングとドライエッチングの両方に対応した精密なエッチングプロセス制御とパラメーター設定が可能です。また、東京エレクトロンSCCMシンは、ガスの積載を容易にし、圧力と温度の誤差を排除する自動ガスフロー機を備えています。このツールには、エッチングチャンバーとその環境を最適に冷却する冷却ユニットも装備されています。ガスフローと冷却システムの両方が、正確な温度と圧力制御を提供する独立したクローズドループコントローラによって制御されます。自動化のために、アセットは最大3つの個別のロードロック上で複数の（最大10の）反応をサポートします。また、レーザー干渉計を用いてエッチング深度をサンプルごとに3点で測定するエッチング速度の測定も可能です。これにより、プロセス制御をエッチングするための正確なリアルタイムフィードバックが得られます。さらに、装置は、エッチング中の残留または再結晶化の検出とエッチング速度のin situ監視を可能にするin situ残留/再結晶化検出器を備えています。SCCMシンは、プロセスの歩留まりと信頼性を考慮して設計された、単一チャンバー、垂直エッチャー/アッシャーシステムです。優れたプロセス制御、柔軟性、自動化を提供し、エッチングおよびアッシング用途に最適です。
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