中古 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9271008 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin Etcher/Asherは、ケミカルエッチングおよびアッシングプロセスの信頼性と精度に優れた装置です。これは、2つのチャンバーと3つのタンクを含む非常に耐久性のある多機能システムです。このユニットは、さまざまな基板の高速、信頼性、精密なエッチングとアッシングを必要とするアプリケーションに最適です。機械の最初のチャンバーは、トランスポートユニットと2つの加工チャンバーを備えたトラックタイプの工具で、エッチングとアッシングプロセスの両方に最適です。このチャンバーは2タンクの資産を利用しており、1タンクは処理用、もう1タンクは残留物の収集用に使用されています。また、独自の冷却ユニットを搭載し、エッチング・アッシング工程で安定した均一な冷却が可能です。2つ目のチャンバーは電気化学的エッチング/アッシングチャンバーで、さまざまな基板の精密エッチングのための幅広い調整可能なパラメータを提供します。このチャンバーには静電チャックが装備されており、エッチングとアッシングのプロセスを高度に制御できます。この機能を使用することで、電気化学的エッチング/アッシング処理の実行時間が大幅に短縮されます。TEL SCCM Shin Etcher/Asherの3つ目のタンクは、エッチングおよびアッシング処理中に生成された残留物を収集するために使用されます。このタンクには、フィルターと遠心分離装置が装備されており、粒子のサイズ別の効率的な収集と分離が可能です。さらに、特定の基板のガス補助エッチング用の窒素供給システムも含まれています。TOKYO ELECTRON SCCM Shin Etcher/Asherは、さまざまなエッチングおよびアッシング処理に使用できる安全で信頼性の高い加工ユニットです。これは、エッチングとアッシングプロセスの精密な制御を可能にする、加工パラメータと機能の広い範囲を提供しています。さらに、独自の冷却工具、窒素供給資産、フィルタおよび遠心分離モデルを備えており、安全で信頼性の高い高効率加工装置を提供します。結論として、SCCM Shin Etcher/Asherは、精密なエッチングとアッシングプロセスのための優れたシステムです。