中古 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9241291 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shinは、フォトマスクのバッチ処理とプラズマエッチングを組み合わせることで、高品質で低コストのマイクロエレクトロニクス機器を製造するために設計されたエッチャー/アッシャーです。この高度な技術により、1台の機械で非常に複雑なデバイス構造を製造することができます。その結果、最適な歩留まり、低コスト、高サイクル時間が得られます。TEL SCCMシンは、反応性イオンエチャントにウエハを露出して動作し、ウエハ上に堆積します。このプロセスはバッチで行われ、高精度で再現性の高い複雑な機能の制御エッチングを可能にします。さらに、圧力、電力、エッチング量などのエッチングパラメータを簡単に調整できるオンボードコンピュータを搭載しており、オペレータは特定のニーズに合わせてエッチングプロセスをカスタマイズできます。東京電子SCCMシンの精度は、高解像度の機能を作り出すための理想的な選択肢です。エッチングの深さと幅は調整可能で、0。5〜25の範囲です。したがって、0。5ミクロンの大きさのジオメトリやチャネルを作成するために使用することができます。プラズマエッチングプロセスの高精度と再現性により、異なるウエハバッチでも複雑な機能が正確に複製されます。SCCMシンはアッシャーとしても使用できます。これは、ウェーハの表面を酸素の制御された用量に均等にさらすことで、ウェーハの表面を酸化して電気特性を向上させることができます。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shinの設計により、汚染やクロス汚染を最小限に抑えます。これにより、超高感度マイクロエレクトロニクスアプリケーションでも信頼性の高いデバイス生産が可能になります。TEL SCCM Shinは、高品質のマイクロエレクトロニクスデバイスを製造するための費用対効果の高いソリューションです。使いやすいグラフィカルインターフェイスで使いやすく、スループットが高く、エッチングパラメータを格納する統合データベースが付属しています。さらに、幅広い基板材料に対応し、汎用性と信頼性の高いエッチャー/アッシャーとなっています。