中古 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9238870 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shinは、半導体・フラットパネルディスプレイ製造会社が使用するエッチャー/アッシャーの一種です。高い生産性と優れた性能で設計された装置で、ユーザー独自のユーザビリティを提供します。TEL SCCM ShinはCCS（クローズドチャンバーシステム）チャンバーを備えており、エッチャー内部から分離されたプロセス危険物を保持します。これにより、臭いや粒子の発生を低減しながら、安全な作業環境を確保します。さらに、特許取得済みのデュアルプラテン設計により、製造効率を最大限に高めます。TOKYO ELECTRON SCCM Shinには2つの独立したプラテン・システムが搭載されており、多数のウェハでのエッチング操作に適しています。1回の作業で最大9個のウェーハを同時に処理でき、プロセスの歩留まりとスループットが向上します。また、シリコンウェーハ、ポストメタライズ基板、レジスト基板などのオプション基板を提供することにより、さまざまなプロセス柔軟性を提供します。さらに、このマシンは省エネモードを備えており、非アクティブ期間やアイドル時間中の消費電力を削減することができます。SCCM Shin Etcherには、給餌用と積載用の2つの別々のアームを備えたウェハトランスポートツールがあります。これにより、基板の素早い切り替えが可能になり、ウェーハの切り替え時間が短く、生産およびテストウェーハの両方の処理に単一のツールを使用することができます。この資産には、一度に最大16個のウェーハを格納するオートカセットチェンジャーも装備されており、オペレータは手動でのローディングとアンロード操作から解放されます。エッチャー/アッシャーもユーザーフレンドリーで、メンテナンスを最小限に抑えたシンプルな操作を提供します。その設計は既存の生産ラインに統合することを容易にし、遠隔操作およびオンサイトサポートのために適しています。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON SCCM ShinはSEMI規格に準拠しており、オートメーションプラットフォームサーバーなどの他の製造システムとデータを転送および共有することができます。これにより、生産統計を簡単に監視することができ、ユーザーは生産プロセス全体の効率を向上させることができます。要するに、TEL SCCMシンエッチャー/アッシャーは、ユーザーを念頭に設計された高性能モデルです。プロセスの柔軟性に優れているため、基板を素早く変更し、プロセスの歩留まりとスループットを削減できます。さらに、ユーザーフレンドリーな設計により、既存の生産ラインに簡単に統合でき、SEMI規格に準拠しているため、効果的なデータ共有とデータ転送が可能です。TOKYO ELECTRON SCCM Shinは、半導体・フラットパネルディスプレイメーカーの生産性の向上と安全性の確保に最適なツールです。