中古 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9235178 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shinは、先端技術の半導体製造プロセス向けに設計された高性能エッチャー/アッシャーです。ウエハサイズ（最大150mmまでの5インチウエハ）を幅広くサポートし、ドライエッチングとウェットエッチングの両方の要件に対応し、迅速かつ信頼性の高い結果を提供します。この装置は、カラータッチスクリーンディスプレイを備え、コンパクトで使いやすいように設計されています。モジュラーアーキテクチャを備えているため、システムを変更する顧客のニーズに合わせて簡単に拡張できます。大量のプロセスチャンバーと内部ガスラインを備えているため、シングルステップ/マルチステップエッチングレシピの両方で簡単に設定できます。TEL SCCM Shinには、リアクティブイオンエッチング（RIE）原理に基づいたチャンバークリーニングユニットが搭載されています。圧縮ガスで構成された高加速プラズマビームを使用し、ウェーハの構造表面を損なうことなくチャンバー内部の汚染を効果的に除去します。また、プロセス温度制御用の熱電対モニタ、粒子レベル検出用のCP-MS検出器、ウェーハの厚さを正確に測定するための高感度マイクロメータなど、幅広いオプションを備えています。さらに、プロセス制御を最適化するための特別な加熱および冷却構造で構成することができます。TOKYO ELECTRON SCCM Shinは、HFエッチング、CMP、薄膜エッチング、反応イオンエッチングなど、幅広いプロセスで高い均一性を提供します。高信頼性・高効率で、先端技術半導体デバイスの製造に最適です。