中古 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9235174 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shinは、様々な材料を微細加工するための高精度で費用対効果の高いプロセスを提供するために設計されたエッチャー/アッシャー（別名プラズマエッチング機）です。ステンレス、タングステン、コバルト、アルミニウム、石英、シリコンなど幅広い素材に対応可能です。このシステムは、高エネルギーのプラズマを使用してウェーハ表面から材料を除去するプラズマエッチング技術と、特別に設計された機械ヘッドを使用してさまざまな形状を定義する統合フライス加工プロセスを組み合わせたものです。TEL SCCM Shinは、直径200mm、厚さ1。5 mmまでのウェーハを収納できる大型プレートを採用しています。次に、プレートを下部プレートに取り付け、加熱します。コンピュータ化されたシステムにより、プロセスを正確に制御できます。エッチング処理が開始され、ウェーハはエッチング室にあるインダクタによって生成されるパルス磁場にさらされます。このフィールドフォースは原料プラズマと相互作用し、ウェハ表面に焦点を当てたエッチングパターンを作成します。エッチングチャンバーには、内部真空、窒素ガス、深い真空など、いくつかの安全機能が装備されています。プラズマエッチングプロセスが進行中であるため、ウェハは視覚および赤外線センサーで監視され、エッチングプロセスが均一であることを確認します。エッチング処理が完了すると、特殊なフライス加工が行われます。フライス加工は、専用のフライスヘッドを使用して行われ、高速で回転し、所定の輪郭に沿ってウェーハを切断します。フライス加工プロセスは、ウェーハ内にチャネルまたはその他の機能を作成するために使用されます。最後に、部品を検査してパッケージ化する準備ができています。検査プロセスは、最終製品の亀裂、傷などの欠陥を識別することができる専門の顕微鏡を介して行われます。これらの問題のいずれかが検出された場合は、出荷前に修正することができます。部品はパッケージ化され、最終目的地に派遣することができます。TOKYO ELECTRON SCCM Shinは、マイクロファブリケーションプロセスのための信頼性と費用対効果の高いシステムです。高い精度と精度を提供するように設計されており、操作とメンテナンスが容易です。さらに、内蔵の安全機能により、プロセスが安全で制御された環境で行われることを保証します。