中古 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #9133015 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shinは、シェーピング、パターニング、表面処理など、さまざまな半導体アプリケーションで使用される高性能エッチング/アッシング装置です。200mm、 300mm、 450mmなどの幅広いウェーハで迅速かつ正確な操作を提供します。ウェーハ表面に必要な部位のエッチング/アッシングを可能にするCVD（化学蒸着）システムを搭載しています。これにより、手動エッチングやアッシングに比べて作業時間とコストが削減されます。TEL SCCMシンエッチャー/アッシャーは、フォトレジストのエッチング/アッシングなど、シリコン、銅、酸化ケイ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素、ガリウムヒ素など、幅広い機能を備えています。高度なオゾン空気浄化装置を備えており、不要な微粒子が機械から逃げるのを防ぎ、周囲の表面を損傷から保護します。機械は高度HMI（人間の機械インターフェイス）と速く、容易な操作を提供するように設計されています。この機械はまた低圧不活性ガスの大気環境が装備されています。これにより、クリーンな環境での動作が保証されます。これにより、エッチングおよびアッシングプロセスが汚染されることなく実行されます。また、エッチング/アッシング時に使用される潜在的に危険な化学物質による環境への損傷を防止します。TOKYO ELECTRON SCCMシンエッチャー/アッシャーには、高度なウェハアクセスマシンもあります。このツールは、迅速かつ効率的なウェーハのロード/アンロード操作を可能にします。また、ウェーハの周囲環境への不要な露出も防止します。また、エッチング/アッシングプロセス用の冷却アセットも内蔵しており、ウェーハ表面の損傷を防ぎます。SCCMシンエッチャー/アッシャーには、迅速なトラブルシューティングと修理を可能にする高度な診断機能も装備されています。グラフィカルユーザーインターフェイスにより、操作が簡単になり、操作を素早くセットアップできます。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shin etcher/asherは、環境への汚染やリスクを最小限に抑えながら、迅速かつ正確で信頼性の高い操作を提供するように設計された高度なエッチング/アッシング・モデルです。高度なHMI、低圧大気環境、統合冷却装置、高度なウェハアクセスシステム、診断機能を備えています。これにより、さまざまな半導体アプリケーションに最適です。