中古 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM Shin #293614937 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON SCCM Shinは、小型集積回路を製造するために設計されたエッチャーまたはアッシャーです。多種多様な加工に使用できる汎用性の高い工具です。機械はそれを丈夫および魅力的にするステンレス鋼から作り出されます。エッチャーには、基板全体の急速な温度制御と非常に正確なエッチング機構を容易にするための熱処理制御モジュール（TCP）も含まれています。200mm、 150mm、 100mmなどの小型基板に対応しています。TEL SCCM Shinには、3種類のモニタリングを使用して、最も正確なエッチング機能を保証するインテリジェント機器が含まれています。1つ目は、加工中の最適なエッチング温度を保証するために使用されるモニターです。第二に、エッチャーはまた、正確さを確保するためにエッチングの前後に製品を検査するために使用することができるカメラシステムを内蔵した目視検査を提供します。最後に、SCCMは、設定とプロセスデータを自動的に記録および保存するトラッキングロジックを構築しており、必要に応じて簡単に設定を呼び出すことができます。このツールのマイクロプロセッサは、エッチング速度と圧力を素早く調整するように設計されていますが、オンボードの真空ユニットは、安定した真空圧力を最大2つのバーまで生成し、一貫した最終製品特性を保証することができます。エッチャーには、幅と深さをエッチングするための調整可能なパラメータも用意されており、ユーザーは特定のアプリケーションの設定を微調整することができます。さらに精度と精度を高めるために、SCCMは3次元移動ステージと自動モーションコントロールを備えており、高速で高精度なエッチングプロファイルを実現しています。TOKYO ELECTRON SCCM Shinは、エッチング時の熱ゆがみを最小限に抑える冷却機能を内蔵し、精度と一貫性を向上させています。エッチャーには、化学的酸化と汚染を最小限に抑えるために、不要なガスを洗い流すインラインガスクラバーが装備されており、材料の損傷を最小限に抑えた精密なエッチングが可能です。さらに、このツールには、ケミカルディスペンシングマシンと、簡単なウェハローディングとアンロードのための自動ウェハハンドラの両方が装備されています。SCCMシンは、さまざまな用途に使用できる信頼性の高いエッチングおよびアッシングツールです。高度なモニタリング、精密な加工、高精度により、ハイエンドのエッチング要件に最適なツールです。