中古 TEL / TOKYO ELECTRON SCCM JIN #9038421 を販売中

ID: 9038421
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Etcher, 12" 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON SCCM JINは、プラズマ強化化学蒸着技術を活用したエッチャー/アッシャーで、カスタムエッチング材料の形成に優れた成果を発揮します。TEL SCCM JINの高度なコントローラーにより、エッチング速度、温度、パターンを調整して望ましい結果を得ることができます。多用途で精密なエッチング/ハッシュ機能を提供し、ユーザーは厳しい公差内でカスタムエッチングを生成できます。TOKYO ELECTRON SCCM JINは、エッチング/ハッシュ材を最大300cc保持できるプロセスチャンバーを採用し、CF4、 O2、 Ar、 H2などのエッチング/ハッシュガスを採用しています。チャンバー圧力は調整可能で、ユーザーはエッチング/ハッシュ処理をカスタマイズできます。チャンバーには上流ベローズと下流ベローズが装備されており、エッチング/ハッシュ処理中にチャンバー内の圧力が増加します。SCCM JINは、基板ヒーターを使用して、骨折や非単一加熱を危険にさらすことなく、基板材料を効果的かつ正確に加熱します。プロセスガスと数値制御トランスミッタにより、ユーザーはカスタマイズ可能なエッチング/ハッシュのためにエッチング速度、温度、パターンを調整することができます。TEL/TOKYO ELECTRON SCCM JINでは、金属基材に正確にカットするためのシーケンシャルソース駆動技術を採用しています。エッチング/ハッシュ処理を正確に制御する均一な波形ジェネレータを不正確にします。TEL SCCM JINは、レーザーとイオンビーム法を用いた従来のエッチング/ハッシュ法よりも小さいサイズのフィーチャーサイズを置くことができるE-Beam Etcherを採用しています。パターンの再現性と精度に優れているため、ユーザーはカスタムアプリケーション用の複雑なエッチング/ハッシュパターンを作成できます。このシステムはリモートモニターを使用しており、一度に最大30回の実験結果を保存および追跡できます。また、エッチングレート、温度、エッチングパターンをリアルタイムで監視できるオプションのソフトウェアモジュールも提供しています。要するに、SCCM JINは、優れた再現性と精度で汎用性と精密な機能を提供する優れたエッチング/ハッシングソリューションを備えたエッチャー/アッシャーです。複数のプロセスチャンバー、ベローズ、ジェネレータ、E-Beamエッチャー、リモートモニターを使用して、ユーザーが最適な結果を得てカスタム材料をエッチング/ハッシュできます。
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