中古 TEL / TOKYO ELECTRON RLSA #9270938 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON TEL/TOKYO ELECTRON RLSAは、エッチャーまたはアッシャーとしても知られ、低温プラズマシステムを使用して、走査トンネルや電界放出顕微鏡などの電子顕微鏡のサンプルをエッチングする高度なタイプのアッシング装置です。このユニットはTEL Technology Co。、 Ltd。によって開発され、他のタイプのアッシングシステムよりも多くの異なる利点を提供します。TEL RLSAは、エッチングにプラズマの2種類、すなわち正イオンビーム（PIB）と負イオンビーム（NIB）を使用する先進的なドライエッチング剤です。そのPIBは基質のクリーニングのために使用され、従来のashing方法が提供できるより大いに微細なエッチングは提供します；一方、そのNIBは、成膜やエピタキシーなどの材料の機能的および構造的変化に使用されます。これにより、東京エレクトロンRLSAはより高い精度で精密なエッチングを実現します。RLSAは、敏感な石英窓を備えた流体適合基板などの特殊基板を使用して、非常に小さな特徴をサンプルにエッチングします。このウィンドウは高感度で正確に制御することができ、ユーザーはエッチングプロセスをより大きな制御し、より高い精度で結果を達成することができます。また、TEL/TOKYO ELECTRON RLSAには、エッチングの進行状況やエッチング条件を結果に応じて微調整する高度な制御装置も搭載しています。この高精度な制御により、さまざまな構造やパターンを欠陥なく実現できます。TEL RLSAの最大の利点は、低温プラズマ工具の高効率化と効率化により、従来のアッシングシステムよりも幅広い材料をエッチングできることです。これにより、金属、酸化物、平面基板をより高い精度でエッチングすることができます。TOKYO ELECTRON RLSAは安全性と信頼性が高く、繊細な素材をエッチングするためのクリーンルーム環境で使用されています。また、操作も非常に簡単で、制御資産にはユーザーフレンドリーなコンポーネントが含まれており、技術的な専門知識がなくても簡単にエッチング条件を制御することができます。全体的に、RLSAは、低温プラズマ装置、効率的な基板処理、および高精度制御システムにより、正確かつ正確な結果を提供する高度なエッチングモデルです。このユニットは、フィールド放出およびスキャニングトンネリング顕微鏡アプリケーションのさまざまなサンプルをエッチングするのに理想的です。