中古 TEL / TOKYO ELECTRON RLSA #293598577 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON RLSAは、リアクティブイオンエッチング（RIE）とプラズマエンハンスドケミカル蒸着（PECVD）技術を使用して、材料表面にパターンを生成するエッチャー/アッシャーです。このプロセスは、柔軟なポリマーから硬結晶材料まで、さまざまな材料の製造に適しています。エッチング素材の薄膜をエッチングしたい部分に塗布することで効果を発揮します。フィルムを塗布した後、エッチングプラズマが生成され、その下の表面材料を直接溶解し、エッチング材料を基板に移します。さらに、PECVDプロセスは、さまざまな前駆体を使用してポリマーやその他の材料を化学的にエッチングし、表面にパターンを作成します。TEL RLSAは、材料の高精度エッチングのために設計された高度なエッチャー/アッシャーです。これは、ユーザーが理想的なエッチング速度と2次元解像度を選択することができます細かく、高解像度のリニアスキャンを利用しています。また、パソコン、ビデオディスプレイ、マニュアルアーム位置決め機器など、素材のエッチングに最適な機能を備えています。ソフトウェア制御のRF電源を内蔵したRFジェネレータによって供給されるRLSAは、1つの露出可能なフィルムで全領域をスイープする機能を備えています。さらに、システムのメモリ上に複数のプログラムを保存できるため、エッチング目的の異なる特定のプログラムを簡単に呼び出して選択することができ、TEL/TOKYO ELECTRON RLSAは汎用性の高いエッチングマシンとなります。TEL RLSAは、安全性の観点から、エッチング工程で使用される有害化学物質や粒子からユーザーを保護するためのいくつかの対策を取り入れています。例えば、オートギャップユニットは、エッチング面と工具先端の間の安全ギャップを維持するようにプログラムされており、安全で危険のない作業環境を確保しています。さらに、東京エレクトロンRLSAには、排気処理、化学分配システム、緊急停止など、必要な安全機能がすべて搭載されており、機械を操作する際のユーザーの安全を保証します。全体として、RLSAは様々な業界で使用されるユーザーフレンドリーで精密なエッチャー/アッシャーであり、材料表面にさまざまな形状やパターンを作成します。TEL/TOKYO ELECTRON RLSAは、精密なスキャンツールと豊富な安全機能により、ユーザーが希望するパターンや形状に最高の精度で到達できる理想的な機械です。