中古 TEL / TOKYO ELECTRON RLSA #293589548 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON RLSAはコンピュータ化されたエッチャーの一種で、一般にアッシャーと呼ばれています。装置の主な構成要素は、基板ホルダー、コントローラ、反応チャンバー、プロセスチャンバーなどで、すべてWindows 7 OSで動作します。TEL RLSAエッチャーは、片面と両面の両方の基板を同時にエッチングする機能を備えています。アルミニウム、銅、タングステン、セラミックおよび石英基板などの金属をエッチングすることができます。トレース、ビア、パッドなどの機能をエッチングするだけでなく、穴、スロット、キャビティを高精度にエッチングできます。コントローラはマイクロプロセッサとプログラム可能なシステムで構成されており、エッチングプロセスごとに正確な設定が可能です。プロセスチャンバーは、反応チャンバと基板ホルダーを保持する密閉真空タイトエリアです。反応チャンバーは、真空チャンバーに接続されている反応チューブで構成されています、ガス分布ユニットと据え付け品のセット。真空チャンバーは低圧環境を提供するために使用され、ガス分配機はエッチング工程で使用されるガスを追加するために使用されます。反応チューブには洗浄液が充填され、基板ホルダーはワークを確実に保持します。コントローラは、時間、ガス流量、圧力、温度、電圧などのエッチングプロセスパラメータを設定するために使用されます。また、エッチングデータをWindows 7 OSと共有することで、エッチング処理をプログラムしたり、TOKYO ELECTRON RLSA etcherとやり取りすることができます。さらに、自動ノズル洗浄とウェーハ検証を可能にし、エッチング工程の結果を簡単に確認することができます。要約すると、RLSAは金属、セラミックス、水晶基板を正確にエッチングすることができる汎用性の高いエッチャーです。Windows 7 OSを介してプログラムしたり、操作したりするのは簡単で、ノズルクリーニングやウェーハ検証などの機能が搭載されており、精度が向上しています。