中古 TEL / TOKYO ELECTRON ME-600P2 / ME-600IR #9382344 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ME-600P2/ ME-600IRは、シリコン、石英、ガリウム、窒化ガリウム、銅、アルミニウム、チタン、タングステン、スチールなど、さまざまな材料の精密エッチングとアッシング用に設計されたエッチャー/アッシャーです。TEL ME-600P2/ ME-600IRは、最先端の粗細加工モジュールを搭載し、最大12枚のウエハを同時に処理でき、総加工面積は最大1,310平方cmです。また、独立して制御可能な石英炉を備えており、最大1,350°Cの温度を可能にし、高レベルのプロセス安定性を提供します。独自のオートスロープテクノロジーにより、均一なエッチング/灰深度のエッチプロファイルを常に更新できます。一方、モニターウェハローディングとアンロードシステムの改善により、操作が容易になります。このME-600P2は13種類のプラズマガス源（ヘリウム、アルゴン、六フッ化硫黄、炭素四フッ化物、水素フッ化物、酸素、窒素、アンモニア、シリコン、水素シルスキオキサン、塩素、ホウ素三フッ化物）を備えています。このエッチャー/アッシャーはオートメーションシステムに簡単に組み込むことができ、複雑で大量生産に最適です。さらに、ME-600IRは、アッシング/乾燥プロセスに使用できるIRランプの追加ラインを備えています。TOKYO ELECTRON ME-600P2/ ME-600IRは、マイクロエレクトロニクスや半導体製造などの精密産業における幅広いエッチングおよびアッシング用途向けの優れたソリューションです。高度な機能と優れたプロセス安定性により、最小限の処理時間で高品質な結果を達成するための理想的な選択肢です。