中古 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #9267385 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ME-450IIは、半導体デバイスにおいて信頼性の高いエッチング/アッシュプロセスを提供するために設計されたエッチャー/アッシャーマシンです。最新技術を搭載した最先端のマシンです。低温、高精度、高精度、高スループットでプロセスを実行することができます。高解像度のイメージング装置を搭載しており、高精度のイメージングが可能です。これは、パラメータの迅速な調整を可能にするリアルタイムのフィードバックを提供します。薄い誘電体、ポリイミド、二酸化ケイ素など、様々な基材にエッチング/アッシュ処理を行うことができます。さらに、幅広いエッチング/アッシュプロセス化学に対応しています。TEL ME-450IIにはユーザーフレンドリーなインターフェイスがあり、セットアップとメンテナンスを最小限に抑える必要があります。オートバランス機能により、高さや地形が変化しても正確かつ一貫して作業できます。オートバランス機能により、基板、表面テクスチャ、材料タイプ、高さに基づいて、ジョブごとにエッチングパラメータを設定できます。このマシンは、エッチング/アッシュプロセスの精度を保証する統合された検証済みのプロセス制御システム（PCS）を備えています。このユニットには、エッチング均一性制御機械、温度制御ツール、および圧力制御アセットが含まれています。PCSを使用すると、各エッチング/アッシュプロセスのパラメータをリアルタイムで監視および制御できます。これにより、ユーザーは毎回最適な結果を達成することができます。また、東京エレクトロンME-450IIは、TEL-MPT （Multi-Path Tuning）技術と呼ばれるプラズマプロセス制御技術を進めています。この技術は、2つの独立したエッチングパスの使用を組み合わせ、各パスに異なる圧力、温度、およびRFパワーレベルを使用します。マルチパス・チューニング技術により、ユーザーは正確なエッチング/灰の結果を得ることができます。ME-450IIは高度なエッチャー/アッシャーマシンで、エッチング/アッシュプロセスを実行する際に最高の精度と精度を可能にする最新の技術を組み合わせています。半導体デバイス製造のための信頼性の高いツールであり、高さや表面の形状が変化しても、幅広いエッチング/灰プロセスを実行することができます。