中古 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #9192884 を販売中
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ID: 9192884
ヴィンテージ: 1999
Dry etcher
Gas box
Glass size: 370 x 470 mm
(2) Chambers
Indexer
Monitor rack
Main rack
Chamber pump
Loadlock
Rear block
P/C-R
P/C-L
(2) Regulator boxes
Loadlock pump
P/C-R Pump
P/C-L Pump
Turbo controller rack
P/C-R Chiller
P/C-L Chiller
(2) UPS
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ME-450IIは、高度な精密エッチングツールです。この機械は精密なレベルの細部が必要であるマイクロエレクトロニクス装置の製作に理想的に適しています。まず、ターゲット材料に化学蒸着（CVD）層を適用します。次に、レーザービームを使用して目的のパターンをCVDレイヤーにトレースし、基板上に永続的なエッチングパターンを作成します。TEL ME-450IIは高精度で複雑なパターンでも実現可能です。3次元範囲は最大0。3mm、最小線幅は0。8micronです。独自のCVDプロセスを利用することで、極めて均一な表面のエッチングが可能です。このシステムはまた、完全な再現性と可能な限り最良の結果を保証するために、X、 Y、 Z軸で最大0。02mm ±の特別な位置精度を備えています。また、東京エレクトロンME-450IIは、従来のエッチング技術よりも時間を節約することができます。その自己走行ヘッドは、エッチング処理を高速化するのに役立ち、専用のコントローラを使用すると、ユーザーはさまざまなエッチングジョブのパラメーターを簡単に設定できます。さらに、高度な標準化機能を備えており、エッチング処理を迅速かつ簡単にプリセットすることができます。このツールは、高度な安全機能も備えています。それはドアが開いているときビームを妨げるレーザーの安全シャッターを含んでいる密集した設計を備えています。また、緊急停止ボタンがあり、予期せぬ事故が発生した場合にレーザー出力を素早く遮断します。さらに、レーザーがアクティブなときに点灯するインジケータランプがあり、安全な機能を確保し、問題や怪我を防ぐのに役立ちます。全体として、ME-450IIは強力で信頼性の高いエッチングツールです。その高度な精度と機能の組み合わせは、複雑なパターンの簡単かつ効率的なエッチングを可能にし、マイクロエレクトロニクスの生産に最適です。その安全性の特徴は心の安らぎを提供し、時間の節約の利点はそれを費用効果が大きい選択にします。このエッチングツールは、非常に正確なエッチングツールをお探しの企業に最適です。
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