中古 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #9083622 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ME-450IIは、半導体産業における大量パイプライン処理用に設計されたフル機能のエッチャー/アッシャーです。この装置は、ウェーハをシフトすることなく、高速エッチングおよびアッシング処理を可能にします。高度な多次元評価システムにより、複数のプロセスパラメータを正確に調整し、高スループット生産を可能にします。大容量ウェーハローダーとアンローダーを搭載し、最大200mm径のウェーハに対応可能です。また、5nmの解像度で、最大200mmのウェーハを全面積でスキャンすることもできます。このスキャン機は、高精度のプロセス制御を可能にし、エッチング/アッシングプロセスの正確なチューニングを可能にします。TEL ME-450IIは両面エッチング/アッシングが可能で、ウェーハの両面に均一な表面仕上げを実現します。また、内蔵の自動レベリングツール、棚タイプのチャンバ、自動化された精密なアライメントアセットなど、欠陥を最小限に抑えるように設計された多くの機能も組み込まれています。プロセスパラメータに関しては、簡単で複雑なエッチング/アッシングのレシピを再現可能な精度で処理することができるTOKYO ELECTRON ME-450II。構成に応じて、5nm/min以下、400nm/min以下のエッチングレートを管理できます。このモデルはまた、最大1400°Cの最高温度範囲で複数のガス供給チャネルを制御する能力を備えており、ユーザーはエッチングまたはアッシング温度を完全に制御できます。ME-450IIには強力な真空ポンプ装置も装備されており、ポンプのタイムアウトは10秒と低くなっています。また、高度な監視機能を備えており、プロセスの不規則性をユーザーに警告します。この機能により、不規則性をすばやく認識することができ、ユーザーは迅速に是正措置を講じて、継続的で高品質な生産を保証することができます。また、TEL/TOKYO ELECTRON ME-450IIには、ユーザーの利便性を最大限に高めるための包括的なソフトウェアパッケージも用意されています。このパッケージには、レシピ情報を保存するためのデータベース、レシピを最適化するためのツール、および統合されたプロセス制御機能が含まれています。ソフトウェアパッケージにはユーザーフレンドリーなGUIも備えており、レシピの迅速な操作とシリアルデータの迅速な分析が可能です。全体的に、TEL ME-450IIは、優れたスループットとプロセス制御を提供するフル機能のエッチャー/アッシャーです。半導体業界におけるウェーハの大量生産に適した信頼性と汎用性の高いツールです。