中古 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #293594209 を販売中

ID: 293594209
Dry etcher Gas box Glass size: 370 x 470 mm (2) Chambers Monitor rack Loadlock Indexer P/C-R Backside block P/C-L Backside block P/C-C Backside block P/C-R P/C-L P/C-C (2) Regulator boxes Main rack Loadlock pump rack Loadlock pump P/C-R Pump P/C-L Pump P/C C Pump Turbo controller rack (2) Chillers 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ME-450IIは、高精度エッチャー/アッシャーで、信頼性の高い効率的な生産を求める産業・ハイエンド市場に最適です。TEL ME-450IIは最先端の制御装置を備えており、先端半導体デバイスや3D集積回路などの高精度エッチング製品をリードしています。また、再現性に優れているため、オリジナルの製品設計への変更を最小限に抑えて一貫した生産が可能です。TOKYO ELECTRON ME-450IIは、電流、電圧、温度などのエッチングパラメータを完全に制御するための、直感的なメニューベースのGUIを提供します。その結果、オペレータは素材やサイズに応じて設定を素早く簡単に調整でき、最適なエッチング結果を保証します。ME-450IIは6軸ワークテーブルも備えており、任意の方向に最大+-20mmのプロセス制御を可能にします。この高度な制御システムは、正確で一貫したエッチング処理を保証します。TEL/TOKYO ELECTRON ME-450IIは、最高1350mm (x)、 1020mm (y)、 450mm (z)のワーキングエリアをカバーする優れた製品公差とプロセス安定性を確保するよう設計されており、高精度で密集した構造物の大規模な生産に適しています。このユニットの分離機能は、電子ビーム(EB)および化学エッチング(CE)プロセスの独立した阻害を可能にするように構成することができます。これにより、TEL ME-450IIは、銅やアルミ基板、エッチング部品などの複雑な部品や材料を容易に取り扱うことができます。この汎用性の高いエッチャー/アッシャーには、欠陥や不良品を検出するための高度なマシンビジョンモニタリング(MVM)マシンと、エッチング時の部品安定性のための信頼性の高いホールドインプレイス(HIP)ツールが装備されています。これらの機能により、オペレータは生産部品を迅速かつ正確に検査することができ、一貫した高精度の製品を保証するのに役立ちます。TOKYO ELECTRON ME-450IIは、信頼性の高い正確な精密エッチャー/アッシャーを必要とするあらゆる産業やハイエンド市場に理想的な選択肢です。信頼できる制御資産と直感的なGUIを提供し、生産を容易かつ効率的にします。高精度のエッチング精度と再現性、および使いやすいマシンビジョンモニタリングモデルとホールドインプレイス機器により、あらゆる品質主導市場で必須の製品となっています。
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