中古 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #293594208 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ME-450IIは最先端のエッチャー/アッシャーです。TELによって開発・製造され、業界で幅広い用途と用途を持っています。TEL ME-450IIは、マルチチャンバー設計を特徴とするダイレクトプラズマエッチング装置で、パターニングとエッチングのための安定した一貫性のある環境をユーザーに提供します。このシステムのチャンバーは、エレクトロニクス業界で最も一般的に使用される基板であるシリコンのエッチングに最適化されています。ガラスや石英などの他の材料にも適しています。TOKYO ELECTRON ME-450IIは、最適化された多波長プラズマソースを使用して、高いエッチング速度、大きなプロセスウィンドウ、優れた選択性を提供します。高いプラズマ密度、低い基板充電、優れたラグ制御により、幅広い基板やフィルムで優れたエッチング性能を発揮します。この機械のチャンバー設計は、プロセスの柔軟性を最大限に高めるために、複数のソースとエッチングガスを利用しています。ME-450IIは、リアクティブイオンエッチング（RIE）を含む様々なプロセスフロー用の固定カソード、円柱カソード、平面電極を標準装備しています。平面電極を使用して、ACまたはパルスDC電源を基板にパドルすることで、優れたパターン忠実性を実現できます。さらに、このツールの自動ガス供給と制御により、均一なガス使用量とトータルプロセス制御が可能になります。TEL/TOKYO ELECTRON ME-450IIには、優れたプロセス性能と歩留まりを確保するための様々なツールや機能が含まれています。このような特徴の例は、自動基板ポジショナーと低反射基板ホルダーです。TEL ME-450IIは耐久性のあるセラミックエンジニアリング材料を使用し、ダウンタイムを最小限に抑え、メンテナンスを最適化します。東京電子ME-450IIは、人員の安全とプロセスの安定性を確保するために、さまざまなアラームと安全機能を備えています。リアルタイム診断機能により、ユーザーはアセットを停止することなくプロセスを迅速に監視および変更できます。ME-450IIは、既存の生産環境に容易に統合するように設計されており、さまざまな基板やフィルムと互換性があり、セットアップが比較的迅速で使いやすい生産モデルになります。TEL/TOKYO ELECTRON ME-450IIは、ユニークなエッチング源とガス流量制御を組み合わせたエンジニアリングとソフトウェアの進歩をまとめたパターニングとエッチングに最適なツールです。その先進的な機能は、マルチチャンバーチャンバー設計と関連するプロセスツールと組み合わされ、再現性、信頼性、高品質の結果を保証します。