中古 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #293594207 を販売中
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ID: 293594207
ヴィンテージ: 1999
Dry etcher
Gas box
Glass size: 370 x 470 mm
(2) Chambers
Monitor rack
Loadlock
Rear block
Indexer
Regulator box
Main rack
Loadlock pump rack
Loadlock pump
P/C-R Pump
P/C-L Pump
Turbo controller rack
(2) Chillers
UPS
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ME-450IIは、半導体デバイス製造工程で使用されるエッチャー/アッシャーです。集積回路やメモリチップなど、さまざまなマイクロエレクトロニクスデバイスを製造することができます。TEL ME-450IIは、幅広い温度設定とエッチングプロセスの温度と圧力を正確に制御する機能を備え、優れたプロセス制御と安定性を提供します。エッチャー/アッシャーには、正確で一貫したエッチング結果を保証するリアルタイム監視装置が装備されています。この機械は、マイクロエレクトロニクスデバイスの腐食、粒子汚染、およびその他の潜在的な損傷のリスクを最小限に抑えるように設計されています。TOKYO ELECTRON ME-450IIは、シングルチャンバーを備えた合理化されたスタンドアロン構造で、最大5つのロータリーヘッドを備えています。そのコンパクトなサイズとアクセスしやすいコントロールは、スペースが限られている可能性がある実験室の設定に最適です。このシステムは優れた柔軟性を提供し、異なるプロセスガスの使用とより高いレベルの最適化のためのオプション部品の追加を可能にします。ME-450IIは、高効率のマルチポイント制御ユニット、非常に微細な温度および圧力制御、および低い総所有コストで設計されています。この機械はまた費用を下げている間最高の結果を保障する高度のクリーンアップ用具が装備されています。TEL/TOKYO ELECTRON ME-450IIの優れたプロセス制御に加え、レシピ開発、リアルタイムプロセス管理、データロギングなどのユーザーフレンドリーなソフトウェアも備えています。これにより、ユーザーは簡単にエッチング処理を監視、制御、および最適化することができ、結果としてより一貫した信頼性の高い結果が得られます。TEL ME-450IIは、幅広いアプリケーションに優れた結果を提供することができる高度なエッチャー/アッシャーです。高精度なエッチングおよびアッシング処理を必要とするプロジェクトに有効なソリューションであり、プロセスのセットアップと制御に高度な柔軟性を備えています。直感的な制御と強力な処理能力により、最新のマイクロエレクトロニクス製造環境に最適です。
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