中古 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730W #9157641 を販売中
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ID: 9157641
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
CVD System, 8"
W, WF5, ClF3, Ar, SiH4, H2, N2
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730W etcher/asherは、半導体デバイスの製造用に設計された汎用性の高いエッチングおよびアッシング装置です。この装置は、ハイエンド半導体デバイスの研究開発、加工、製造に適しています。非常にコンパクトなデザインで、多くの革新的な機能を備えているため、市場で最も先進的なエッチャー/アッシャーの1つです。TEL MB2-730Wは、5インチから12インチまでのさまざまな基板サイズを加工することができ、厚さ12mmまでの基板を加工することができます。最高の処理結果を得るために、4-Gasのマスフローコントローラをサポートしています。エッチャー/アッシャーの2ゾーンシャワーヘッドは、基板表面上のプロセスガスを均等に分配する役割を果たします。その高度な電気ネットワークは、単極または双方向操作のために設定されている2つの電極で構成されています。エッチングとアッシングは、高精度の電源で駆動され、高精度のエッチングとアッシングプロファイルを実現します。TOKYO ELECTRON MB2-730Wエッチャーアッシャーには、プロセスの終了を制御するタイマーとオートストップ機能も含まれています。機械の前端にあるオペレータに優しい表示スクリーンはすべての必要な変数への容易なアクセスを保障します。それに加えて、グラフィカルなタッチスクリーンインターフェイスは、プロセスパラメータとリアルタイムプロセスへの迅速なアクセスを可能にします。全体として、エッチャー/アッシャーMB2-730W信頼性の高いプラットフォームを提供し、半導体デバイスの製造に信頼性の高い正確なエッチングおよびアッシングプロセスを提供します。プロセス開発と生産の柔軟性を提供し、高品質な製造のためのプロセス最適化を可能にします。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと直感的なソフトウェアスイートにより、TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730W etcher-asherの汎用性と使いやすさが向上します。
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