中古 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730W #9157640 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730Wは、ディープエッチング用に設計されたアドバンスエッチャーおよびアッシャー装置で、幅広い基板の複雑なパターンを作成します。パワフルなマイクロ波発電機システムにより、プラズマエッチングを正確かつ制御し、基板損傷の可能性を低減し、より良い制御処理を実現します。それに200-700°Cの広い温度較差の13。56 MHzおよび高度の温度調整の機能の波長があります。TEL MB2-730Wは直感的なタッチコントロールパネルも備えており、エッチングパラメータを簡単に調整できます。最先端の光学フィードバックユニットにより、エッチングされるパターンのエッチング速度と深さを同時に監視し、高精度を実現します。この機械は、エッチング処理の面でも非常に柔軟性があります。エッチング前のマスキングが可能で、ハードマスクや高精度プロセスに最適です。また、高性能真空サブシステムにより、プロセスの再現性が高く、ウェーハの汚染を防止します。TOKYO ELECTRON MB2-730Wは、低騒音メンテナンスフリーのツールも備えており、クリーンルームでの使用に適しています。全体として、MB2-730Wは非常に強力なエッチャーおよびアッシャー資産であり、エッチング処理に対する幅広いエッチング機能と精密制御を提供します。高度な機能により、高いスループット、欠陥の低減、歩留まりの向上を実現し、高精度プロセスに最適です。このモデルは、信頼性の高い結果を必要とする研究および産業用途に最適です。