中古 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730HT #9145481 を販売中
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ID: 9145481
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
CVD System, 8"
(3) Chambers
WSi Process
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730HTは、高効率で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。CMOS/BiCMOS Etcher、 Asher、 Stress Relief Systemで、先端材料の過酷な条件下で高品質な加工を行うことができます。このシステムは、プラズマベースのエッチングおよび成膜技術を使用して、高品質の部品や部品を製造する高度な半導体製造に使用するために設計されています。高速性能と精度と柔軟性を兼ね備えたシステムにより、複雑な製品でも高い歩留まりを実現します。このエッチャー/アッシャーは、プロセス制御用にレーザー監視された高度なプラズマ生成電源を備えており、エッチングとアッシングのための均一な環境を提供します。直感的に操作できる使いやすいタッチスクリーンインターフェースを備えています。このユニットは、精密な温度制御のためのタングステン絶縁チャンバ技術を利用して、エッチング/灰プロセスを確実にするために、バッチ処理にも適しています。TEL MB2-730HTはトリプルガス源も備えており、ディープリアクティブエッチング、毛布成膜、スルーマスク除去などのプロセス変動を可能にします。高度なワッフルプレート設計により、プロセス中のエッチング時間と基板の損傷を低減します。また、オンボードの膜厚モニターと検出器を備えており、ユーザーの介入を最小限に抑えた正確なプロセス制御が可能です。TOKYO ELECTRON MB2-730HTは、高品質の部品を製造しながら、運用コストを低減し、基板の損傷を最小限に抑えることができる、信頼性の高い汎用性と効率的なエッチャー/アッシャーです。多種多様なプロセス化学や基板に対応できるよう設計されており、多種多様な複雑な製品を製造する際に最大限の柔軟性を実現します。このユニットは半自動操作に適しており、ユーザーの介入が少ない再現性の高い生産が可能です。MB2-730HTは、高性能ロジックやメモリモジュールから光学部品、高度なパッケージングまで、さまざまな半導体製造アプリケーションで使用できます。
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