中古 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9395107 を販売中
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ID: 9395107
ヴィンテージ: 2001
Metal CVD system, 8"
(3) Chambers
Control cabinet
No SMIF
Monitor
Monitor rack
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730は、高精度のエッチング/アッシャーを製造する高精度のエッチング/アッシャーです。エッチャー/アッシャーの最大スループットは毎時730ウェーハで、各ウェーハは均一なエッチングまたは灰の動作を受けます。この機械には精密プラズマ源が装備されており、エッチング深さを0.6µm以下に提供することができます。この装置は、高度な圧力コントローラを使用してエッチング工程を正確に制御し、エッチング結果の高精度を実現します。このシステムは、高コントラストエッチング処理を利用しているため、エッチングまたはアッシュ加工された表面が非常に可視化され、容易に識別できます。エッチャー/アッシャーは、高度なパルス変調発振器ユニットを備えており、エッチング処理を制御するためのパルスプラズマモードを可能にします。TEL MB2-730は、高度なクローズドループ制御機も備えており、エッチングまたは灰が特定のアプリケーションの厳しい要件を満たしていることを保証します。このシステムは、シリコン、石英、ガラス、金属など、さまざまな基板をサポートしています。このツールはまた、ポリマー、トラック、および金属化の堆積をサポートしています。このアセットは、さまざまなツールや材料設計と非常に互換性があり、生産効率の向上とプロセスコストの削減に役立ちます。さらに、統合された洗浄プロセスにより、エッチング作業とアッシング作業の間で効率的な洗浄が可能になり、一貫したバッチ結果が得られます。エッチャー/アッシャーは、最高の安全性と簡単な取り扱いのために設計されています。それは人員および材料を保護する多数の安全特徴を特色にします。このモデルには、プロセスを監視し、安全な動作を確保するためのサーマルセンサー、超音波センサー、および光学センサーが装備されています。機械はまた自動リモート操作のために設計されています、機械の容易なセットアップおよび操作を可能にします。TOKYO ELECTRON MB2-730は、精密エッチングと0。6ミクロンまでのアッシングを提供し、さまざまなエッチングおよびアッシング操作に最適です。このマシンには、高精度の制御機能の選択と、一貫した結果を得るための統合された洗浄プロセスが装備されています。その安全機能は、潜在的な事故からの保護の複数のレベルを提供します。最後に、リモート操作と自動化されたセットアップにより、エッチングとアッシングのニーズに合わせて簡単に選択できます。
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