中古 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #9167961 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 Etcher/Asherは、様々な先端材料に超高エッチング精度を提供するマルチチャンバー型シングルウェーハドライエッチングシステムです。その2つのプロセスチャンバーは大きなプロセスウィンドウを備えており、最大限の汎用性を実現しています。中電力と高出力の誘導結合プラズマ源を組み合わせることで、エッチング工程の優れた利用がさらに可能になります。エッチャー/アッシャーは、in situクリーニング機能と最先端の追跡制御サンプルステージも備えています。これにより、単一層と複数層の両方でエッチング処理の均一性と再現性が向上します。システムには、人間工学に基づいて操作するのに便利な多くの安全機器が装備されています。例えば、オペレータは直感的なGUIでタッチパネルディスプレイを通してパラメータ値を設定でき、自動インターロックシステムは火災や危険な状況からシステムを保護します。2350 x 2390mmのフットプリントTEL MB2-730により、さまざまなウエハサイズに対応できます。ウェハホルダーに使用でき、ウェハローディングの柔軟性が高く、精度と再現性を兼ね備えています。このチャンバーの先進技術は、異なる材料を同時にエッチングする際に高い選択性を可能にします。エッチングプロセス実行時には最大40nmの精度、エッチングおよびアッシングプロセス実行時には最大80nmの精度を達成できます。また、Si、 3D/2.5D統合システム、大規模集積回路で製造される半導体デバイスのエッチングに最適な条件を提供します。TOKYO ELECTRON MB2-730は、化合物エッチング、超低k誘電エッチング用のRIEギャップフィル、金属層や誘電層などの幅広い堆積物をサポートするように設計されています。汎用性、正確なプロセス、強力なソース使用率、安全性は、この信頼性の高いエッチャー/アッシャーの利点のほんの一部です。したがって、MB2-730 Etcher/Asherはすべての高度な材料エッチングのニーズに最適です。