中古 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #293825814 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730は、高密度PCBなどのマイクロエレクトロニクス機器の製造に使用するために設計された高度なエッチングツールです。TEL MB2-730は、ディープエッチング処理用に設計された信頼性の高いマルチビーム片面プラズマエッチャーです。先進的な光学設計と13インチのチャンバーにより、高いスループットと精密なエッチングで大きな基板を処理できます。TOKYO ELECTRON MB2-730は、エッチング速度の向上と優れたプロファイル制御を実現するデュアルステージプラズマ技術を搭載しています。これにより、広範囲にわたって高いプロファイル精度を実現し、エッチング精度を0。3nmに抑えた0。3umの機能を持つPCBを製造することができます。システムに5つの部屋、主要なエッチャー部屋、前きれいな部屋、ポストのきれいな部屋、前エッチング部屋およびポストのエッチング部屋があります。これにより、エッチングおよび精密なプロセス制御に高い精度を提供します。また、自動化されたウェーハインデックスとアライメントを備えているため、エッチャー内にウェーハを一貫して配置できます。MB2-730は、最高品質のエッチングを保証するマルチステッププロセスを利用しています。まず、基板はプレクリーンプロセスにさらされ、粒子や表面汚染を除去します。その後、表面を柔らかくし、エッチング処理に備えるための低温高圧プレエッチング工程が続きます。次に、特殊なガスインジェクタの助けを借りて、非常に反応性の高いプロセスガスがエッチャー室に導入されます。チャンバー内に形成されたプラズマは、必要な仕様に基板をエッチングします。最後に、使用されるエッチング工程に応じて、ポストエッチングクリーンおよびデカム工程を使用して、残留物を除去し、基材をクリーンで均一な表面仕上げで残すことができます。TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730は、PCB加工の要求に応える、信頼性の高いユーザーフレンドリーなエッチングツールです。優れた再現性と高いスループットで正確なエッチングを実現します。さらに、ユーザーフレンドリーなロボットシステムにより、あらゆる製造ラインに簡単に組み込むことができます。高度な機能を備えたTEL MB2-730は、高密度の回路基板や部品加工に最適です。