中古 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #293643025 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730は、サンプルのウェット・ドライエッチング・クリーニング・アッシング用に設計されたエッチング・アッシング装置です。このシステムは、半導体関連の研究、エンジニアリングおよび製造プロセス、主にウェーハの製造および蒸着に使用されます。TEL MB2-730は最先端の技術を駆使し、優れたエッチング精度と優れた性能と品質を実現しています。このユニットは、直径10〜500 μ mのさまざまなエッチング材料と互換性があります。この機械は、エッチング環境の温度と圧力を制御するための加熱ステージを備えています。温度は室温から350˚Cまで調節でき、圧力は0。1 Paから10 Paまで調節できます。このツールは、一貫して優れたエッチング結果を得るための高レベルのプロセス制御を提供します。TOKYO ELECTRON MB2-730は、ウエハローディングの全自動アセットを搭載し、最大4つのウエハを同時にエッチングすることが可能です。また、ビジョンベースのアライメントシステムと、高精度のエアノズルを備えています。このユニットにはデータロギングマシンが内蔵されており、ユーザーは簡単にエッチングのプロセスと結果を追跡および監視することができます。MB2-730は非常停止スイッチ、圧力および温度センサー、およびアルゴンのガスの流れ制御弁を含む高度の安全機能と設計されています。また、石英チューブ、高温ガラス窓、自動遮断弁、ガス安全インターロックなど、さまざまな保護層を備えています。要するに、TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730は、優れた性能と品質で有名な高度なエッチングおよびアッシング資産です。このモデルには、高精度のウェーハローディング、アライメント、エアノズルシステム、および自動データロギング、温度および圧力センサー、およびさまざまな保護層が装備されています。この装置は、ユーザーが簡単かつ安全に一貫したエッチング結果を達成することができます。