中古 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 #293643024 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730
ID: 293643024
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
CVD System, 8" 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730は、半導体など精密マイクロエレクトロニクス市場向けに設計された高性能エッチャー/アッシャーです。この機械は、高度な半導体製造およびプロセス制御技術の世界有数のサプライヤーであるTELによって製造されています。TEL MB2-730は、反応性の高い化合物やプラズマベースのエッチング技術を用いた最先端のエッチング・アッシャー技術を活用しています。これにより、さまざまなアプリケーションで使用するための精密で微調整されたエッチングパターンの作成が可能になります。このマシンは、直感的でユーザーフレンドリーなデジタル制御装置を備えており、エッチングとアッシャー出力を正確に制御できます。TOKYO ELECTRON MB2-730は、有毒ガスや粒子状物質の排出の危険性がない、迅速かつ安全なメンテナンスフリー動作も備えています。MB2-730のエッチングとアッシャープロセスは、レーザー、電子ビーム、Inductively Coupled Plasma (ICP)の組み合わせで達成され、エッチングプロセスを正確に制御できます。エッチング室周辺のサーマルブランケットはエッチング工程全体の温度を均一にし、レーザー駆動のシャッターはシステムの安全で効率的な動作を保証します。TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730のICPソースとRFジェネレータには、最高300°Cまでの精密な温度測定を可能にするハイテクな温度制御ゲージが装備されています。これにより、プロセス全体で温度の一貫性が確保され、エッチング速度を正確に制御できます。外部ガスコントロールユニットにより、エッチガス濃度とレートを簡単に調整できます。TEL MB2-730は、高度なダメージ保護とプロセスのトレーサビリティも備えており、信頼性と精度をさらに高めています。それにエッチング室およびプロセス環境の優秀な浄化そして保護のための任意HEPAのクリーンルームフィルターがあります。高度なトレーサビリティマシンを使用すると、各エッチングプロセスが完了した後に、各エッチングプロセスのステータスを確認および確認できます。さらに、エッチング工程を精密に監視できる高解像度モニターと高度な制御インターフェースを備えた東京エレクトロンMB2-730。モニターはまた、機械の操作に関する情報に簡単にアクセスでき、プロセス中に発生する可能性のあるエラーをすばやく特定して解決するために使用できます。要するに、MB2-730は半導体およびマイクロエレクトロニクス産業で使用するために設計された汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。高度なエッチング技術、精密な温度制御、ユーザーフレンドリーなデジタル制御ツール、高度なダメージ保護とプロセスのトレーサビリティを利用して、マイクロエレクトロニクス部品の精密エッチングとアッシングに最適なソリューションです。
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