中古 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HT #9145482 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HTは、高温が必要な場合を中心に最適な洗浄結果を得ることができる高度なプリクリーニングエッチャー/アッシャーです。特殊な高温ウエハエッチング加工を施し、最大700 ˚Cでの動作が可能です。高温ウェハエッチング処理により、従来のウェットクリーニング法では除去できなかった残留物や汚れをウェハから除去し、最高レベルの清浄度と精度を確保します。この装置は、任意の敵対的なガスからオペレータを保護し、エッチング媒体の清潔さを確保するために設計された、密閉およびシールドされた石英処理チャンバーを備えています。また、最も困難な基板の一部を均一な薄い層にエッチングするためのベクターオプションが付属しています。独自のガスインレットシステムにより、ユーザーはガス濃度と方向を指定することができ、高温エッチングに最適な条件を保証します。TEL MB2-730 HT-HTは、精密な再現性でエッチングプロセスを制御するためにユニットにプログラムすることができ、プロセスパラメータのフルレンジが含まれています。動的フィードバック制御も含まれており、プロセスが正確な仕様に準拠していることを確認します。プロセスパラメータには、時間、温度、電力、ガス濃度、圧力が含まれ、柔軟で正確に制御されたエッチングパターンを可能にします。このユニットは、プロセスが実行されている間にイベントチャンバーの内部全体を検査することができる大きな石英ビューポートで設計されています。ビームステアリングデバイス、シールドフォーカシングレンズ、基板温度センサー、幅広いガスインレットミキサーやポンプなど、さまざまなアクセサリーが用意されています。これにより、プロセスの実行方法をより多く制御でき、ランニングコスト全体の削減にも役立ちます。TOKYO ELECTRON MB2-730 HT-HTは、高温エッチング用途で最適な結果を得るのに最適な汎用性と信頼性の高い機械です。超クリーンな処理環境に欠かせないツールです。機械の高精度で高性能な性質により、MEMS、ディスプレイ製造、その他多くの半導体プロセスなどの要求の厳しいエッチング用途に最適です。