中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9381806 を販売中
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タップしてズーム
ID: 9381806
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
LPCVD Furnace, 12"
Process: DCS-MTO
Rapid cooling unit
Pump box
Power box
VOS-56-101P Heater
FUJIKIN Air valve
MFC, MFM: STEC
MAIN / APC: CKD
Load lock system
Storage
Front panel signal tower
Carrier transfer
FIMS Port
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Operating system: Linux V2.13
Utility box:
WAVES Controller
GFC Panel
Operation panel
Data I/O
Gas unit
Cooling unit
APC Controller
Temperature controller
Vacuum line
Load port:
I/O FFU
Side FFU
Furnace subsystem:
Automation system
Heater
Process chamber
Temperature controller
Cooling water unit
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Power box:
EMO Unit
Control board
Hardware switch
Transformer
SCR Unit
N2 Purge unit
RCU Unit
Gases:
SiH4
SiH4Cl2
N2O
NH3
Missing parts:
QUARTZ Wares
Scavenger
Manifold
(2) Hard Disk Drives (HDD)
Power supply: 440/208 V
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、幅広い材料の精密な大型エッチング用に設計された信頼性の高いアッシャー/エッチャー装置です。このシステムは、優れたエッチング性能を提供するために、高度なプロセス技術と技術プラットフォームの統合されたソースを持っています。半導体、半導体チップ、有機基板、薄膜など幅広い材料を高精度にエッチングできます。プログラマブルロボットコントローラを搭載し、正確な動きと制御が可能で、複雑なパターンでも正確なエッチングが可能です。このマシンは、シングルレイヤーエッチング、マルチレイヤーエッチング、AutoClick、マルチマスクエッチングなど、さまざまなプロセスレシピをサポートすることができます。これらの機能は、複数のプロセス機能を組み合わせた完全なエッチングソリューションをユーザーに提供します。このツールには、エッチングチャンバーを迅速かつ効率的にクリーニングするための統合された自動クリーニング機能もあり、一貫性のあるパフォーマンスを保証します。さらに、この資産は、エッチング用途にアルゴン、窒素、酸素ベースのガスを使用することもできます。このモデルはまた、高純度環境、効率的なガス供給装置、高度な制御アルゴリズムを備え、プロセス汚染に対する効率的な保護を提供します。これにより、汚染率を最小限に抑えながら、プロセス化学物質を最大限に抽出することができます。安全なエッチング性能に加えて、包括的なユーザーインターフェース、他の機器のメディア速度の最大2倍の速度、さまざまな素材との互換性など、さまざまな機能が搭載されています。また、リアルタイムモニタリング機能を備えているため、さまざまな材料のエッチング速度をリアルタイムでモニタリングすることができます。また、エッチング条件の予期せぬ変化を検出するアラームも配列されています。全体的に、TEL Indyエッチャー/アッシャーは、信頼性が高く、効率的で包括的なエッチングソリューションを必要とする人にとって理想的な機械です。ユーザーフレンドリーなインターフェース、幅広いエッチングレシピをサポートする機能、高度な機能を備えたTOKYO ELECTRON Indyは、幅広いエッチング用途に最適です。
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