中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9379806 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indyは、複雑な高度な半導体加工のために設計されたエッチャー/アッシャーです。本装置は、直径12インチまでのウェハ加工が可能で、光学・電気化学蒸着、エッチング、レジストストリッピングなど、さまざまな用途に対応できます。自動化されたプロセス制御機能を搭載しており、一度に最大4つのウエハを収容できます。エッチャーは、材料を基板に堆積させてデバイス層を形成するために使用されるレーザー誘導放電プラズマ（LIDP）源を使用して動作します。エッチャーは、Ar、 CF4、 PTFE、 O2、 CHF3など、さまざまなガスを使用することができます。LIDPプラズマ源には4つのレベルのパワーがあり、アプリケーションによって異なるエッチング工程で制御することができます。TEL Indyはまた、電力とガスの流れを調整するために使用される高解像度制御モジュールを備えています。これにより、より正確なプロセス制御結果が得られ、TOKYO ELECTRON Indyはより複雑なアプリケーション要件に対応できます。Indyは高度な安全システムも備えています。これには、ソース電力レベルの安全チェックとガスの流れと圧力設定が含まれます。また、パッシブセーフティバルブを備えており、運転中に発生するガス漏れを検出します。さらに、安全設定が有効になっていない場合に機器が起動しないように設計されたインターロック装置が装備されています。TEL/TOKYO ELECTRON INDYのチャンバー設計は、最適な均一性を保証する革新的な形状を特徴とし、エッチング工程の効率を最大限に高めます。エッチャーはまた、エッチング結果が最高品質であることを保証する低ストリッピングレートを持っています。この低ストリッピングレートは、プロセス中の汚染を防ぐようにも設計されています。TEL Indyは、高度な機能を備えた汎用性の高いエッチャーです。モジュラー設計により、多種多様なエッチング用途に適しています。エッチングおよび蒸着プロセスを優れた制御を備えており、優れた結果を提供しながら複雑な要件に対応できます。このツールは、作業中の安全性を最大化し、汚染を防ぐために安全機能を備えています。信頼できる正確な結果を提供することは確実です。