中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9379803 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、現在の半導体生産のニーズに応えるために、高度で精密な技術で設計されたエッチャー/アッシャーです。1分間に最大10ミクロンのエッチング速度を実現できる高品質の蒸気源を搭載しています。エッチャー/アッシャーは、高精度で均一なエッチング処理を可能にする自動プロファイル制御を備えています。これは、CO2、 CH4、 SiH4、 CF4、 CH2F2、およびSF6を含むすべてのタイプのエッチングおよびアッシングガスと互換性があるように設計されています。エッチャー/アッシャーは、高度な半導体デバイス製造に必要な均一性とプロセス精度を備えた優れたプロセス再現性を提供するようにプログラムされています。これは、最適なエッチングプロセスパラメータを維持するために、温度と圧力を常に監視する独自の自動フィードバック装置を備えています。この効率的なシステムは、温度と圧力の変動に関連する問題を排除するのに役立ちます。安全面では、エッチャー/アッシャーは、危険物への暴露から技術者を保護するために、さまざまな予防措置を講じて設計されています。これらの対策には、安全性の検証とシャットオフ・システム、および自動圧力制御ユニットが含まれます。さらに、乾側の不活性ガス機械は、エッチング/灰の残留物をチャンバーから除去するのに役立ちます。TEL Indyは、高度なエッチングおよびアッシング用途のニーズと要求を満たすように特別に設計されています。その高度な機能により、このエッチャー/アッシャーは、高度な半導体デバイスの正確で正確な製造に最適です。サイクル時間を最適化しながら、プロセスの再現性と制御パラメータを維持するように設計されています。優れた機能を備えたエッチャー/アッシャーは、今日の大量の半導体生産ラインに直感的で信頼性の高いソリューションを提供します。