中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9379783 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、半導体インダストリーにおいて精密かつ再現可能なエッチングとアッシングのプロセスを提供するエッチャー/アッシャーです。エッチング工程でのブレークスルーを低減するために設計されたクローズドループ制御装置を備えた低圧、急速熱化学蒸着（CVD）エッチャー/アッシャーです。TEL Indyは、エッチングとアッシング、ゲート誘電エッチング、金属エッチング、CMP除去、SiO2/SiNエッチング、トランジスタゲート酸化など、さまざまなプロセスに対応しています。TOKYO ELECTRON INDYは、高度なオートメーションと温度制御を備え、正確なエッチングとアッシングプロセスを可能にします。複数のウェーハにわたって高いプラズマ均一性を備え、Time-BasedとEndpointの両方の制御オプションを提供します。IndyのCVDエッチング/アッシングプラズマチャンバーは、ユーザーの要件を満たす幅広いプロセスパラメータを備え、プロセスごとに最大25個のウェーハを収容できます。TEL/TOKYO ELECTRON Indyの高度なLDE （Learn-Data-Execution）ソフトウェアにより、ユーザー定義の要件に合わせてプロセスパラメータを調整することで、エッチングやアッシュ処理をカスタマイズできます。このシステムは、最適なプロセスレシピをデータベースに自動的に保存するため、ユーザーの入力を最小限に抑えてプロセスと再現可能な結果を迅速に切り替えることができます。TEL Indyは、すべてのCVDエッチング/アッシングガスの正確な流量制御と監視を可能にするガス供給ユニットを使用しています。この機械はまた、チャンバーに不活性ガスを導入して反射蒸着を低減することができます。etcher/asherは、ユーザーフレンドリーで使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を備えており、直感的な形式でプロセスデータを提供し、プロセスパラメータとスループットのトラブルシューティングと監視を可能にします。TOKYO ELECTRON Indyは、半導体産業の効率的かつ正確なプロセスを提供するために設計された高度なエッチャー/アッシャーツールです。高度なLDEソフトウェア、クローズドループ制御資産、高度なオートメーションおよび温度制御、ならびにガス供給モデルは、さまざまな半導体エッチングおよびアッシングプロセスに最適な機器です。