中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9311326 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、大量の素材を素早くエッチング・非表示にするエッチャー/アッシャーです。この装置はポリシリコン層の堆積チャンバで構成されており、効率的なウェーハ処理スループットを提供します。このチャンバーは、シリコン、ゲルマニウム、酸化アルミニウムなどの幅広い成膜材料をエッチングするために変更することができます。TEL Indyの自動化装置は、エッチングプロセスを迅速かつ正確に制御するよう設計されており、製造メーカーは時間を節約し、精度を向上させることができます。ウェハトランスファーステーションも組み込まれており、最大100個のウェハをロードし、適切なエッチングモジュールに直接配置することができます。これにより、手動転送システムよりも迅速なウェーハ処理が可能になります。TOKYO ELECTRON INDYは、エッチングプロセスの制御に優れた強力なエッチングプラットフォームです。画期的で最先端のエッチング技術を活用し、素材を高速で一貫してエッチングします。プロセス制御システムは、精密なエッチング深さ測定を提供し、製造業者が正確にエッチングされ、非構造化された製品を作成できるようにします。そのハードウェアはコンパクトなマシンに統合されており、広範なウェーハ処理能力を提供します。組み込みの均一性制御ユニットは、この装置が改善され、一貫した基板性能を提供することを保証します。このマシンは、エラーと時間の集中プロセスを排除するのに役立ちます。Indyラインのエンジニアリングは、エッチングプロセス固有の圧力要件に対応できる堅牢なエッチングチャンバーを提供します。チャンバーの底板は完全に閉じられるように設計されており、機械的な漏れは無視できます。エッチガスインレットモードは、単一のウェーハエッチャーの設計に必要なプロセスに密接に従っています。チャンバーへのエッチガスの注入は、付属のエッチング電源によって制御され、最適なプロセスを可能にします。このツールはまた、クリーンエッチングガスの使用を可能にする完全な排気濾過を採用しています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Indy etcher/asherは強力で効率的で信頼性の高いツールで、大量の材料を迅速にエッチングして非表示にするために使用されます。自動化されたプロセス制御アセットは、時間の節約、精度の向上、エラーの削減に役立ちます。このデバイスは、効率的なウェーハ処理スループットを提供するポリシリコン層の堆積チャンバで構築されています。エッチガスインレットモードと完全排気ろ過も装置の性能に貢献します。これらの機能を組み合わせることで、あらゆる種類の素材をエッチングして非表示にするのに最適です。