中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9311184 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、非常に複雑なメモリチップと半導体デバイスの製造のための精密なエッチング/アッシュプロセス制御を提供する優れたエッチング/アッシュ機器です。このシステムは高度なパターニング技術を使用して設計されており、さまざまな材料タイプや形状でエッチングまたはアッシングを可能にします。可変エッチング/アッシュプロセス制御、機器ステージスキャン、基板ステージ精度制御、自動欠陥検出などの重要なプロセス機能を提供します。シリコン、ゲルマニウム、ヒ素ガリウム、リン化インジウムなどの基板を取り扱うことができます。すべての材料タイプは、外部ハードウェアを必要とせずにエッチングまたはアッシュすることができます。このマシンには、タッチスクリーンのフロントパネルとさまざまな安全およびプロセス監視機能が装備されています。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、必要なすべての機能とオプションが明確で整理された形式で配置されています。装置には、調整可能な電圧、電力、圧力、電流など、さまざまなエッチング/アッシュプロセス制御パラメータが付属しています。圧力、電流、温度など、エッチングまたはアッシング工程のさまざまな品質を測定するセンサーと測定装置を複数備えています。これらの測定により、異なる基材や形状のプロセスを最適化することができます。TEL Indyは高度なユニット制御と通信アーキテクチャを備えており、コマンドに対する迅速な応答を提供します。また、低騒音機は、エッチング/灰プロセス中に高精度を維持するための防振技術を備えています。さらに、装置を効果的に自動化することができ、手動操作に比べてかなりの時間を節約できます。このツールは、1時間あたり80〜160ウェーハの容量を備え、大量生産に対応するように設計されています。さらに、ドライエッチングチャンバーとアッシャーチャンバーの並列構成により、スループットが向上し、全体の処理時間がさらに短縮されます。また、ドライエッチングとアッシャー構成を変更することで、処理されるウェーハの数を増やすことも可能です。TOKYO ELECTRON INDYは、複雑な基板の製造用に設計された高度なエッチング/アッシュ資産です。このモデルは精密なエッチング/灰プロセス制御を提供し、最高品質の製品の生産を可能にします。可変プロセス制御、オートメーション、ハイスループットなどの高度な機能を組み合わせることで、複雑な基板の製造に最適です。