中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9311033 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy（サーマルエッチング/アッシュ）は、東海エレクトロニクスが開発したハイエンドドライエッチング/アッシュ機器です。低圧化学エッチング法を特長とし、Si、 SiO2、 SiN、 SiC、 SiGe、 WAS、 MET、ポリマーなど多数の基板の熱エッチングに適しています。このシステムは優れたプロセス制御を備えており、温度プロファイルはプロセスモニタを介して設定および監視されています。Pyrocordon Etchersは優れたエッチングパラメータを備えており、薄膜と厚膜の両方のエッチングを最適化できます。TEL Indyにはいくつかのエッチングチャンバーが付属しており、さまざまな素材のエッチングが可能です。このユニットにはProximity Etcherも含まれており、より小さく、より複雑なパターンと機能のエッチングを可能にします。このマシンはまた、最高のプロセス再現性を確保するために、さまざまなオプションを備えています。プロセスウェーハトラッキングと位置制御の両方がエッチングプロセスの再現性に貢献します。このツールには、安全性を高めるためのエアフローシャッターなど、安全工学のためのさまざまなオプションも含まれています。TOKYO ELECTRON Indy thermal etch/ashアセット全体として、各種基板の高精度エッチングが可能です。堅牢な設計、信頼性の高いプロセス制御、および高精度エッチングのための多数のオプションにより、高性能の電子機器や部品を製造するための信頼性の高いツールとなります。