中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9276770 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、TEL （TOKYO ELECTRON）が設計・製造したエッチャー/アッシャーです。金属やポリマーフィルムなどの材料の選択的エッチングと成膜を基板上に可能にし、材料の制御層を生成するために特別に設計されています。TEL Indyは、エッチングチャンバー、蒸着ユニット、掃除ユニットの3つの主要コンポーネントを備えたモジュラー設計を採用しています。エッチングチャンバーは陽極酸化アルミニウム製で、ガスの放出やエッチング用化学薬品の導入に使用されます。蒸着ユニットはステンレス製で、ウェーハ上に薄膜を堆積させるために使用されます。洗浄ユニットは磨かれたステンレス鋼から成り、湿式およびドライクリーニングを可能にする多数のノズルおよび部屋から成っています。TOKYO ELECTRON INDYは、正確なエッチングと蒸着を確実に行うために、圧力、温度、ガス流量、時間など幅広い制御パラメータを備えています。さらに、Indyは複数の圧力スイッチ、ガスレオスタット、インターロックなどの複数の安全機能を使用して、最適な性能と安全性を確保しています。TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、チャンバーの完全性を確保し、材料の漏れを防止する自己完結型の真空システムを特許取得しています。また、リモートモニタリング機能を備えており、ユーザーはリモートでシステムのパラメータを監視および調整することができます。TEL Indyでは、電子サイクロトロン共鳴（ECR）アークエッチング、電子ビーム蒸着（EBE）蒸着、物理蒸着（PVD）蒸着など、複数の半導体エッチングおよび蒸着技術を使用しています。また、さまざまなエッチングと蒸着プロセスを容易にするために、反応チャンバー、ポンプ、ロードロックなどのアクセサリーの範囲が装備されています。TOKYO ELECTRON INDYは、シリコン、アルミニウム、半導体フィルムなど、幅広い素材をエッチングして堆積させることができる、汎用性の高い設計です。結論として、Indyは材料の選択的エッチングと成膜のために特別に設計された高度なエッチャー/アッシャーです。それは最適な性能および安全を保障するために制御変数および多数の安全機能の広い範囲を特色にします。さらに、モジュール設計、アクセサリの範囲、多彩な半導体エッチングおよび成膜機能により、さまざまなエッチングおよび成膜アプリケーションに最適なツールです。