中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9245343 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、集積回路チップ、ディスプレイ、センサー、太陽電池など、さまざまなデバイスの製造に使用されるエッチャー/アッシャーです。精密で信頼性の高いエッチングとアッシング処理を提供することで知られる最先端のツールです。TEL Indyエッチャー/アッシャーは、制御されたプラズマエネルギーを配分し、低k基板を含む幅広い材料でディープエッチングまたはクリーンなプロセスを生成する、狭くて深いプラズマノズルを備えています。狭いノズルと低い誘導カップリングにより、広い異方性エッチングまたはクリーンなプロセスを可能にします。INDY ETCHER/Asherは、最大1kWの高出力パルスプラズマ発生器を備え、革新的なマルチコンポーネントインテグレーションコントローラとSECS-GEMソフトウェアにより、コンピュータ制御のデータパラメータとプログラム可能なレシピを備えた基板の自動処理が可能です。さらに、幅広いプロセスガスを多種多様な用途に加工することができます。Indyエッチャー/アッシャーは、生産性を向上させる2チャンバー設計で構成されており、生産環境でデバイスを処理する際の均一性を向上させます。発電機は、マイクロ波源、RF発電機、流通、ガス供給システムで構成されています。コントローラとソフトウェアは、MFC、マスフローコントローラ、マイクロコントローラ、PCネットワーク、ウェハマットなどのI/O設定に対応しています。TEL/TOKYO ELECTRON Indy etcher/asherのその他の利点としては、フレキシブルチャンバー構成、ACまたはDCの2種類の入力パワー、および標準のTELプロセス制御インターフェイスとの互換性があります。機械は容易な取付けおよび有効なスペース割り当てのために堅牢、密集しています。TEL Indy Etcher/Asherは、信頼性、精度、再現性、柔軟性で知られ、現代産業のニーズを満たす理想的なオールインワン処理技術です。そのコスト効率と簡単なメンテナンスにより、エッチングおよびアッシング用途に最適なデバイスです。