中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9244879 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Indy
ID: 9244879
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
Diffusion furnace, 12" 2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy etcher/asherは、歩留まりと効率を向上させる先進的な半導体加工機です。堅牢なアーキテクチャを備えた信頼性の高い堅牢な機器で、フォトマスク、デカール、チップなどのデバイスの低コスト、高スループット生産を確実に実行できます。TEL Indyの汎用性により、ユーザーは特定のニーズに合わせてエッチングとアッシング技術をカスタマイズできます。TOKYO ELECTRON INDYには、クラス最高のエッチャー/アッシャーの1つになるさまざまな機能があります。精密なウエハハンドリングのための信頼性の高いXYステージシステムを駆動する3段階高度電気化学蒸着(ECD)ツールを搭載しています。このECDツールは、大量のスループットとコスト効率の高いプロセスで、ウェーハ上の薄膜蒸着を正確かつ再現可能にします。インディには強力なプラズマアッシャーが搭載されており、エッチングのサイクルタイムと圧力損失を低減することで、他のエーテルシステムよりも高速な小さな機能をエッチングできます。それは他から各部屋を隔離する多室のプラットホームの上に造られ、安全および全面的な性能を高めます。また、TEL/TOKYO ELECTRON Indyは、ユーザーインターフェースに優れた直感的なコントロールと自動化されたプロセスにより、ユーザーエラーを最小限に抑え、操作を容易にします。TEL Indyの自動化されたプロセス制御ユニットは、エッチングとアッシングのシーケンス全体にわたって、必要に応じて各チャンバー内のパラメータを監視および調整します。繰り返し可能なエッチングとアッシングプロセスを保証し、厳しい業界基準を満たしながら、ダウンタイムと所有コストを最小限に抑えます。東京エレクトロンインディは、高度な制御装置を搭載し、様々な用途に対応した高度なエッチングとアッシングプロセスを実現しています。Indyにはアナライザツールも装備されており、ユーザーはリアルタイムでプロセス監視を行うことができます。これにより、すべてのデバイスが最高の精度と効率で一貫して処理されるようになります。最後に、ユーザーフレンドリーな運用資産は、初心者と経験豊富なユーザーの両方に使いやすい環境を作り出し、学習曲線を減らし、ユーザーがモデルで迅速に生産的になることを可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、高信頼性のエッチャー/アッシャーで、様々な半導体加工アプリケーションに高性能、高精度、スループットを提供します。堅牢なアーキテクチャと包括的な機能を備えており、信頼性と費用対効果の高いエッチャー/アッシャーを求めるユーザーに最適です。
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