中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9244851 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、エッチング工程を高度に制御する高度なエッチング装置です。TEL Indyは、高度な技術により、高精度で再現性の高い多種多様な基板エッチングが可能です。TOKYO ELECTRON Indyは、アップグレード可能なプラットフォームを使用して、特定の用途や層の厚さに合わせたエッチング結果を生成します。高精度エッチングプラットフォームは、高分解能フィールド放出銃、真空チャンバ、制御回路、独自のジェット制御システムからなる統合された多段ダイレクトデポジションとエッチングユニットに基づいています。このユニットは、材料線量、線量率、ノズル圧力、エッチング時間、厚さ精度など、多くの重要なエッチングパラメータを正確に制御できます。また、画面上のパーソナルプログラム仕様とエッチングパラメータの調整に最大限の柔軟性を提供するエッチレシピのライブラリを提供しています。Indyのコンピュータ制御の自動エッチングプロセスは、ヒューマンエラーを最小限に抑え、費用対効果が高く信頼性の高いものにします。このマシンは、Windowsベースのソフトウェアを使用しており、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと複数の操作モードを提供し、異なるエッチング速度、プロセス時間、および層の厚さを使用することができます。このツールは、形状エッチングをスキーム化し、ブロックエッチングを行うだけでなく、エアギャップエッチングやCMPプロセスを行うことができます。また、優れたP-VDF基板互換性を提供し、ほぼすべてのタイプのコーティングを使用できます。TEL/TOKYO ELECTRON Indyは、高精度な温度・圧力制御アセットを搭載し、エッチングプロセスのさらなる精度と最適化を実現しています。TEL独自の温度調整可能なマグネトロンスパッタリング技術により、異なる材料や層に最適なエッチング性能を実現します。マニュアルまたは自動ローディング、ICプロセス、バッチまたはシングルサブストレートオートメーション、CMPオペレーションなど、幅広い構成を提供するIndieは、比類のない汎用性を提供し、ほとんどのエッチングのニーズを満たすことができます。TOKYO ELECTRON INDYのモジュール設計とエンジニアリングにより、他のコンポーネントや既存のインフラストラクチャと容易にアップグレードおよび統合できます。さらに、このモデルの冗長機能は、重要な産業環境の信頼性を高めます。優れた精度とオートメーションにより、Indyは要求の厳しいエッチングプロセスに最適であり、プロセスの信頼性と再現性により、信頼性と費用対効果に優れた選択肢となります。