中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9235086 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Indy
ID: 9235086
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
Furnace, 12" 2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indyは、高度な集積回路を製造するために使用される完全自動エッチャー/アッシャーです。高度なリソグラフィとエッチング機能により、トランジスタやその他のコンポーネントをシリコンウェーハに正確に配置できます。この技術は高度な回路製造に不可欠であり、製造業者は人間の関与を最小限に抑えて非常に複雑な集積回路を製造することができます。TEL Indyのモジュラー設計により、機械全体を再構成することなく、必要に応じてプロセスを調整できます。これにより、貯水池のサイズ、体積、温度、プロセスガス、圧力のレシピをカスタマイズすることができます。TOKYO ELECTRON Indyでは、インタラクティブなレシピ作成も行っています。これにより、薄膜蒸着プロセスが一貫して正確に実行されるため、信頼性の高い集積回路が高収量になります。Indyには、強力な制御システムと、最適なプロセス制御を保証する一連のソフトウェアが搭載されています。これには、オートアライメントやフィールドの均一性制御、フォルトロギング、包括的なシステム監視などの機能が含まれます。これにより、歩留まりを最大化する再現性と信頼性の高い結果が得られます。TEL/TOKYO ELECTRON Indyのモジュラー設計により、プロセスチャンバーへのアクセスも可能となり、必要に応じてガス濃度などの条件を簡単に変更できます。TEL Indyは、標準装備の一部として、さまざまな安全システムを備えています。これらには、真空および水センサー、フェイルセーフ圧力スイッチ、および温度およびパワーモニタが含まれます。これにより、エッチングおよび処理中に発生する可能性のある危険な状況からオペレータや機器を保護します。TOKYO ELECTRON Indyは全体的に使いやすく信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。これは、精密な制御と再現性のある結果を提供する、さまざまな半導体製造工程に最適です。
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