中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9141006 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indyは、半導体製造プロセスの生産とスループットを最大化する高解像度エッチング装置です。このシステムは、シリコン、ガラス、ステンレスなど、ほとんどのタイプのバルクおよびデバイスグレードの基板で動作するように設計されています。TEL Indyユニットは、高度な光学系、ヘリウムネオンレーザー源、凍結乾燥機を使用して、粒子の汚染を最小限に抑えるエッチングの高解像度と精度を提供します。このツールは、交換可能なツールヘッドを備えたモジュラー設計を備えており、エッチングとエッチングクリーンアプリケーションを簡単に切り替えることができます。この統合ソフトウェアを使用すると、指定されたパターンで各ウェーハの電源、速度、電圧設定を自動的に調整できます。また、Hydrofluorode （HFC）技術も搭載しており、エッチングに精密で信頼性の高い深度制御を提供するように設計されています。HFCモデルは、不活性ガスを組み合わせてウェーハ表面全体に均一なエッチングを実現するとともに、プラズマ放出を抑制します。TOKYO ELECTRON Indyエッチングシステムで使用されるツールヘッドは、比類のない精度と解像度を提供し、10nmまでのパターンの正確な解像度を実現します。ツールヘッドは、ビアツール、フォトレジストスピナー、金属蒸発源など、さまざまなカートリッジタイプのコンポーネントでカスタマイズできます。さらに、インディ機器はインプロセスセンサーを使用して、ガスの流れ、温度、電力レベルなどの主要なプロセスパラメータをリアルタイムで監視します。これらのセンサは、歩留まりに影響を与えるほど重要になる前に、プロセスの変化を検出するように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON Indyエッチングシステムは、溝エッチング用の低温エッチングモード、大容量プロセス用の高速エッチングモード、ウェーハの異常検出機能など、さまざまな機能をサポートしています。TEL Indyユニットは、優れたエッチング性能を提供するとともに、高いレート処理能力、高いスループット、優れた均一性を提供します。TOKYO ELECTRON Indyは、幅広い機能と機能を備え、エッチング製造プロセスに最適な選択肢です。