中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9137330 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、高アスペクト比の異方性エッチングなどの高度なプロセス向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。エッチャー/アッシャーは、高速RFジェネレータ、ハイパワー、低イオン爆撃、および高度な制御を備えています。シリコン、ステンレス、銅、ガラスなどの様々な素材に複雑で高精度なエッチング処理が可能であり、ウェハサイズ、エッチング速度、選択性などの幅広いプロセスパラメータを備えています。TEL Indyはまた、優れた成膜特性を提供しています。高度なターボ分子ポンピングシステムは、最大のプロセス能力を保証し、高度な内部コンポーネントと組み合わせた寛大なチャンバー容積は、同時に大きなアスペクト比で複数の基板を処理することができます。そのクリーンなデザインは、幅広いプロセスパラメータを提供し、さまざまなアプリケーションに合わせて構成することができます。TOKYO ELECTRON INDYは、プラズマが均一で、幅が小さく、アスペクト比が高いことが特徴です。ナノパターニング、トレンチエッチングなどの薄膜エッチングに適しており、シングルウエハプロセスとマルチウエハプロセスの両方に適しています。Indyは他の技術よりも大幅に高いエッチング率を達成することができ、高度なプロセス制御と柔軟性を提供するように設計されています。長持ちするコンポーネントにより、メンテナンスとダウンタイムを最小限に抑え、高いスループットを維持します。TEL/TOKYO ELECTRON INDYでは、酸素や窒素の画期的なモニタリング、イオン分析システム、CCDカメラのモニタリングなど、さまざまなポストプロセッシング機能を提供しています。また、高速フォルト解析を可能にする高性能診断システムも用意されています。結論として、TEL Indyは、高アスペクト比の異方性エッチングなどの高度なプロセス向けに設計された優れたエッチャー/アッシャーです。幅広いプロセスパラメータ、後処理機能、故障解析ツールを提供しており、長期間にわたるコンポーネントはメンテナンスとダウンタイムを最小限に抑え、高いスループットと生産性を維持します。