中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #9121067 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、加工性能、高スループット、優れた均一性を幅広いプロセスで提供する先進的なエッチャー/アッシャーで、高品質で信頼性の高い生産を可能にします。このデバイスは、調整可能で完全に自動化されたプラットフォームと、RIE、 CVD、スパッタプロセスなどのエッチング、追加、除去プロセスの幅広い選択を提供し、あらゆるプロセス要件に最適です。ワークフローを制御するための高度でカスタマイズ可能なPLC制御装置を備えており、自動システムメンテナンスと予防機能により安定した動作を保証します。TEL Indyは、操作の利便性と柔軟性を高めるために設計されており、パラメータの調整、プロセスの自動状態設定、使いやすいリモートメンテナンス機能を備えています。TOKYO ELECTRON INDYは、最高エッチング速度40 μ m/min、空間分解能5 μ m、プロセス範囲30kHz〜10GHzの高性能エッチング/アッシャーユニットを誇ります。さらに、高速応答時間は高いスループットを達成するのに役立ち、ラインバイラインリプレイレートが向上し7MHz。また、多方向エッチングとアッシングを行うことができ、4方向監視機能を備えているため、細かいパターンや小さな機能の生産に適しています。さらに、Indyは、危険回避システムを含む高度な安全機能を備えており、エラーを防止し、リスクを軽減します。このツールは、SEMI S2などの環境安全規格に準拠しており、複数のガス供給システムと互換性があります。TEL/TOKYO ELECTRON Indyは高度な機械学習により、ダウンタイムとメンテナンスを最小限に抑えながら、プロセスの再現性と生産の柔軟性において並外れた能力を発揮します。高性能化により、様々な研究・生産工程において効果的で信頼性の高い生産ソリューションを提供し、高精度で半導体、MEMS、 ICデバイス製造の用途に適しています。