中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293824557 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indyは、半導体デバイス製造のための高度なエッチャー/アッシャーです。高いアスペクト比のエッチングとアッシングプロセスのための高度な専門化を提供します。精密エッチングとアッシングのために、TEL Indyには3つの独立したエッチング/アッシング源があり、個別に制御することができます。TOKYO ELECTRON INDYは、バイアス電位の正確な制御を容易にするために、最大プロセス圧力10Torr、最大2MHz RF電力、デジタルインピーダンス制御ユニットを備えています。Indyはまた、幅広いツーリング構成と革新的なオリエンテーション制御機能で優れた柔軟性を提供します。これにより、幅広い形状、サイズ、材料にわたるエッチングまたはアッシング用途の制御が可能になります。TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、様々なプロセスガスや基板に対応しており、エッチング/アッシングの難易度をさらに高めています。さらに、TEL Indyの複数のプロセスチャンバー設計により、異なるプロセス間の分離が最適化され、スループットが向上し、工具の稼働時間が長くなります。TOKYO ELECTRON Indyは、高度に専門化されたエッチング/アッシャーで、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に最適な性能を提供します。