中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293821710 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、基板や基板表面から不要な材料を除去するために使用されるエッチャー/アッシャーの一種です。これは、エッチングチャンバー、裏面、およびプロセス制御と通信の3つの主要な部分に分かれているコンピュータ制御マシンです。エッチングチャンバーは、エッチング処理が行われる場所です。それは気体の大気が付いている密封された部屋で、オペレータによって必要とされる特定のエッチングの条件を満たすためにカスタマイズすることができます。プロセス・ガスはオーバーヘッド・ガス・コンセントを介してチャンバに流れ込み、基板はバルク・ウェーハ・ローダーを使用してチャンバに転送されます。エッチングプロセスは、プロセス許可、温度、圧力、プラズマパワー、およびその他のパラメータを制御することによって制御することができます。エッチャー/アッシャーの裏側は、プロセス制御が行われる場所です。コントローラ、電源、熱電対、真空ポンプ、およびその他のシステムコンポーネントで構成されています。コントローラは、エッチング処理を制御するコンピュータと通信し、オペレータの指示に従ってプロセスパラメータを調整します。電源はエッチングプロセスに電力を供給し、熱電対と真空ポンプはエッチングチャンバーの温度と圧力を監視し維持します。エッチング処理には、プロセス制御と通信も必要です。エッチャーに接続されたシステムは、メインプロセス制御コンピュータやその他のシステムコンポーネントと通信できます。これは、RS-232、 Profibus、 TCP/IPなどの通信プロトコルを介して行われます。また、オペレータはエッチングパラメータを表示および変更し、ネットワーク上でエッチング処理を監視することができます。全体的に、TEL Indyはエッチング処理を正確に制御する効率的なエッチャー/アッシャーです。さまざまなエッチングガスで各種基板をエッチングすることが可能で、精密かつ精密な製品の製造が可能です。さらに、プロセス制御と通信機能により、オペレータは製品品質を最大化し、処理時間を短縮できます。