中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293758841 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDYはエッチャーまたはアッシャーであり、様々な面でパターンを作成するための装置です。半導体、フォトリソグラフィ、データストレージ、その他様々な材料の微細加工およびナノ加工に広く使用されています。TEL Indyは2段スキャンシステムで構築されています。第1段は高解像度のエッチングとアッシングユニット、第2段は低解像度のエッチングとアッシングユニットです。また、スパッタエッチング成膜などの洗浄や薄膜成膜プロセスにも使用できます。TOKYO ELECTRON INDYでは、マニュアルクリーニングのためにデバイスを停止する必要はありません。この多目的な機械にエッチング変数およびプロセスを精密に制御することを可能にする多数の特徴があります。Indyには、適切なエッチング条件を簡単かつ正確に選択できる一連のスマートエッチングおよびクリーニングアルゴリズムが含まれています。また、目的のスキャン回数、エッチングの深さ、エッチング速度、エッチング環境を指定することができます。このシステムはまた、エッチング特性とパラメータをさらにカスタマイズするために、いくつかのレベルのコンピュータ支援設計を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Indyが収集したデータをリアルタイムに更新し、エッチング結果をより長期にわたって保存・監視することができます。このデータは、プロセスパラメータの不要な変動を検出するために、長期にわたってプロセスを監視するために使用できます。前述の通り、TEL Indyはスパッタエッチングや成膜にも使用できます。スパッタエッチングでは、表面の小さな領域に選択されたガスのイオンが照射されます。これが対象物質に影響を与え、粒子がバラバラになり、表面に薄膜ができます。TOKYO ELECTRON INDYは、エッチングプロセスを正確に制御できる強力なエッチングツールです。その強力な機能と優れた精度により、このシステムは、微細加工およびナノ加工ラボが望ましい結果を簡単に達成するのに役立ちます。