中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293754737 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy（以下、TEL Indy）は、酸化エッチング、ポリシリコンエッチング、ウェーハアッシングが可能なハイエンドのハイスループットエッチャー/アッシャーです。TOKYO ELECTRON INDYは、地元で供給されている3軸テーブルトップチャンバーと業界をリードする制御機器を使用して構築されています。部屋は等級316のステンレス鋼から製造され、熱効果からの最高の絶縁材を保障するために底および側面に陶磁器シートが塗られます。チャンバー内部では、プラズマエッチングを効率的に適用するために、ホットプレートと3つの電極を備えた特殊なエレクトロポリッシュクォーツサセプターによって基板をサポートしています。Indyは、プロセスを合理化し、包括的なソリューションを提供する幅広い運用機能を誇っています。このシステムは、効率的な材料処理のための超高速ロードロックを備えています。洗練されたガス供給ユニットにより、流量、圧力、温度、組成を完全に制御できます。さらに、汎用性の高いプロセスレシピ管理マシンは、一貫した再現性のある結果を保証するために、最大20のパラメータを記録することができます。このツールの高効率プラズマソース設計は、低消費電力、低オペレーティングコスト、長寿命を提供します。これは、高度なセンサ技術と組み合わせた最適化されたCWマグネトロン源の使用によって達成されます。これにより、欠陥基板の除去を低減しながら、信頼性の高い動作を保証します。TEL/TOKYO ELECTRON Indyには、リアルタイムプロセス制御を備えた高度なモニタリング資産もあります。これにより、モデルはプロセス全体を追跡して最適な結果を得ることができます。さらに、リアルタイムの温度制御により、目標温度を維持し、開始温度に関係なく再現可能なエッチングを可能にします。人間工学に基づいた設計により、操作が容易になります。直感的なディスプレイとシンプルなコントロールパネルを備えた最適化されたユーザーインターフェイスを備えています。また、TEL Indyは、高度な統計プロセス制御要件を満たすために、さまざまなデータ分析およびロギング機能をサポートしています。TOKYO ELECTRON Indy etcher/asherは、酸化エッチング、ポリシリコンエッチング、ウェーハアッシングにおいて、優れた性能と信頼性を提供します。その先進的な機能と革新的なデザインは、これらの材料を含むプロセスの最先端に常にとどまることを可能にします。