中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293751273 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、費用対効果の高い高精度処理のために設計された完全自動エッチャー/アッシャーです。この装置は、レジストアッシング、窒化エッチング、酸化エッチング、ポリエッチング、金属エッチング、選択的エッチングなど、半導体業界のさまざまな処理に使用されています。TEL Indyは、さまざまなプロセス要件に最適なパフォーマンス、精度、信頼性を提供するためにカスタマイズされています。TOKYO ELECTRON INDYは、最大4つのプロセスチャンバーを持ち、金属層と誘電層の両方に対応できます。これにより、石英エッチング、ポリレジストストリップ、基板洗浄、誘電エッチングなど、さまざまなプロセス要件に適しています。この装置はまた、RF、 PECVD、およびICPソースを含むプラズマ電源の選択を提供します。Indyのインターフェースモジュールは使いやすいパネルを備えており、さまざまな動作パラメータ設定とアラームを可能にします。統合されたクリーンルーム環境制御システムは、機器を汚染物質から保護するのに役立ちます。TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）などの技術により、従来のエッチング法よりも細かいサイズのエッチングが可能です。TEL Indyには統合されたレシピ管理ユニットが付属しており、プロセスの再現性のために複数のレシピを保存できます。自動化されたウェーハハンドリングマシンは、簡単な操作のために設計されており、粒子汚染に対する保護を提供します。TOKYO ELECTRON INDYは、高い性能と信頼性を手頃な価格で提供します。半導体の研究・製造における精密エッチングに最適です。また、レジストアッシング、ポリエッチング、ウェットエッチング/プラズマエッチング用途にも最適です。Indyは、半導体業界の精密エッチングのニーズに対応する、高効率で費用対効果の高い信頼性の高いソリューションです。