中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy #293658581 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDYは、半導体ウェーハ基板のエッチングを容易かつ効率的に行えるように設計された最先端の自動アッシャー/エッチャー装置です。この完全自動化されたシステムは、さまざまなウェーハ材料やサイズに異なるエッチングプロセス（腐食性、パッシベーション、フォトレジストなど）を使用することができ、汎用性が高くなります。その先進的な機能には、マテリアルハンドリング用のプラットフォームを備えたコンピュータ制御フロントエンド、ウェーハのナビゲートと位置決めのためのイメージングユニット、およびそれらをエッチングするための強力なジェネレータが含まれます。TEL Indyは、複数のプロセスサイクルと高速ウェーハ転送時間を備えたスループットを最大限に発揮するように設計されています。また、ウェーハのエッチングを正確かつ迅速かつクリーンに行うために、汚染率を低減します。ウエハサイズは50mmから300mmまでと、プロセス範囲が広い。最大3層のコーティングでウェーハを処理できるように設計されており、高性能材料のエッチングが可能です。エッチング工程を分解することで、チャックにウェーハをロードしてから、ウェーハ表面をマーキングして画像化するという、素早く簡単な工程を提供します。次に、イメージングツールを使用してウェーハを整列させます。これにより、エッチング処理が開始され、強力なジェネレータと複数のプロセスサイクルが基板を迅速にエッチングします。プロセスが完了すると、ウェーハはアンロードされ、次のステップに備えられます。Indyは、自動化されたプロセスにより、優れた安全性を提供します。この資産には、強い酸やその他のリソグラフィー化学物質の存在下でユーザーの安全を確保するために、ケージとセキュリティ障壁のペアを含む産業グレードの安全モデルがあります。機器には、偶発的な火災が発生した場合の緊急停止ボタンも含まれています。また、TEL/TOKYO ELECTRON Indyでは、ウェーハの自動監視、ノズルの自動交換、プロセスチェックなどのメンテナンスが容易な低メンテナンス運用を提供しています。また、このシステムにはデータストレージが内蔵されているため、メーカーはさらに分析するためにデータと品質チェックを保存できます。TEL Indyは、高度なエッチング機能と使いやすい設計により、半導体業界において貴重なツールです。ユニークな機能により、幅広い半導体ウェーハ基板の精密かつ効率的なエッチングに優れています。